主要镀膜材料及其性能和用途 U^{'"x+
名称 折射率 透光范围 蒸发温度(℃) 蒸发源 应用 z'ZGN{L
三氧化二铝 1.62/550nm 200~5000 2000-2200 电子枪 增透膜、多层膜 olO&7jh7|
氟化铈 1.63/500nm 300~5000 1429 钼，钽，电子枪 增透膜、多层膜 ~85Pgb<
氧化铈 2.35/500nm 400~16000 1950 电子枪 增透膜 p*Hbc|?{Q&
冰晶石 1.33/500nm 250~14000 1000 钼，钽，电子枪 增透膜 Z CS{D
氧化铪 1.95/500nm 230~7000 2500 电子枪 紫外-近红外多层膜 p;m2RHYF
透明导电膜料 2.0/500nm 400~800 1450 电子枪，Al2O3 透明导电膜 (3+:/,{'$
氟化钙 1.23-1.42/550nm 150~12000 1280~1400 钼，钽，钨 增透膜 1?bX$$y l;
氟化镁 1.38/550nm 130~7000 1300~1600 钼，钽，钨 增透膜、多层膜 t&=]>blIs
氧化镁 1.7/500nm 200~8000 2000 电子枪 多层膜 &GH ,is
锆钛混合物 2.1/500nm 400~7000 2300 钨，电子枪 增透膜 :]oR x
氧化钪 1.89/500nm 250~5000 2430 电子枪 紫外多层膜 b
ZEyP
W
二氧化硅 1.45/500nm 200~2000 1600~2200 电子枪 多层膜 eb>YvC
一氧化硅 1.55/550nm 600~8000 1200~1600 钼，钽，钨 增透膜、保护膜 G'
'l,\ 3
五氧化二钽 2.1/500nm 400~7000 1950 电子枪 增透膜 \Q<Ur&J]%
一氧化钛 2.35/500nm 400~12000 1700~2000 电子枪 多层膜、分光膜 1f^4J~{
二氧化钛 2.35/500nm 400~12000 2200 电子枪 增透膜、多层膜 $zuemjW3p
氧化钇 1.87/550nm 400~8000 2500 电子枪 增透膜、多层膜 0qrsf!
氧化锆 2.05/500nm 250~7000 2500 电子枪 增透膜、多层膜 ?4i:$.A
Y
三氧化二钛 2.35/500nm 400~12000 1800~2000 钽，钨电子枪 增透膜、多层膜 *k#M;e
氟化钡 1.4/10600nm 220~11000 1280 钼，钽，铂 紫外-远红外膜、多层膜、增透膜 vS|uN(a.P
氟化镧 1.58/500nm 220~14000 1450 钼，电子枪 增透膜 l ,T*b
硅 3.4/3000nm 1000~9000 1500 电子枪 红外膜 |4s`;4c&
锗 4.4/2000nm 1700~23000 1300~1500 电子枪，钨 红外膜 NuqWezJm&
硒化锌 2.58/550nm 600~15000 600~900 钼，钽，电子枪 红外膜 gr")J w7
硫化锌 2.4/1200nm 400~14000 1100 钼，钽，电子枪 多层膜 H#B~ h4#
氟化钇 红外膜(10.61.49/632.8nm 200~15000 1100 钼 m)增透膜 + B#3!
氟化镨 1.51/632.8nm 220~15000 红外膜(10.61400~1600 钼，电子枪 m)增透膜 9V=bV =4:
氟化铝 1.35/500nm 200~8000 800~1000 电子枪，钼，钽 紫外膜
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氟化铅 1.76/470nm 220~9000 700~1000 铂 紫外膜 Z '~y Uo=
氧化钆 1.8/550nm 320~15000 2200 增透膜
