主要镀膜材料及其性能和用途 'u<e<hU
名称 折射率 透光范围 蒸发温度(℃) 蒸发源 应用 FFqK tj' s
三氧化二铝 1.62/550nm 200~5000 2000-2200 电子枪 增透膜、多层膜 =v<w29P(g
氟化铈 1.63/500nm 300~5000 1429 钼，钽，电子枪 增透膜、多层膜 0ZjT.Ep
氧化铈 2.35/500nm 400~16000 1950 电子枪 增透膜 "\@J0 |ppb
冰晶石 1.33/500nm 250~14000 1000 钼，钽，电子枪 增透膜 |1%% c
%
氧化铪 1.95/500nm 230~7000 2500 电子枪 紫外-近红外多层膜 sL A.bp.O
透明导电膜料 2.0/500nm 400~800 1450 电子枪，Al2O3 透明导电膜 Ln# o:" E
氟化钙 1.23-1.42/550nm 150~12000 1280~1400 钼，钽，钨 增透膜 Tm`@5
氟化镁 1.38/550nm 130~7000 1300~1600 钼，钽，钨 增透膜、多层膜 sa+
JN^[X
氧化镁 1.7/500nm 200~8000 2000 电子枪 多层膜 vNw(hT5750
锆钛混合物 2.1/500nm 400~7000 2300 钨，电子枪 增透膜 &MpLm&
氧化钪 1.89/500nm 250~5000 2430 电子枪 紫外多层膜 rpiuFst
二氧化硅 1.45/500nm 200~2000 1600~2200 电子枪 多层膜 fZ-"._9UyH
一氧化硅 1.55/550nm 600~8000 1200~1600 钼，钽，钨 增透膜、保护膜 _5 Lcr)
五氧化二钽 2.1/500nm 400~7000 1950 电子枪 增透膜 1vo3aF
一氧化钛 2.35/500nm 400~12000 1700~2000 电子枪 多层膜、分光膜 @S3 L%lOH
二氧化钛 2.35/500nm 400~12000 2200 电子枪 增透膜、多层膜 ?>+uO0*S
氧化钇 1.87/550nm 400~8000 2500 电子枪 增透膜、多层膜 _- vlN
氧化锆 2.05/500nm 250~7000 2500 电子枪 增透膜、多层膜 cI[i v
三氧化二钛 2.35/500nm 400~12000 1800~2000 钽，钨电子枪 增透膜、多层膜 4vL\t
uoz
氟化钡 1.4/10600nm 220~11000 1280 钼，钽，铂 紫外-远红外膜、多层膜、增透膜 |y7TYjg6
氟化镧 1.58/500nm 220~14000 1450 钼，电子枪 增透膜 ^!B]V>L-
硅 3.4/3000nm 1000~9000 1500 电子枪 红外膜 qK$O /g,
锗 4.4/2000nm 1700~23000 1300~1500 电子枪，钨 红外膜 }$<v
硒化锌 2.58/550nm 600~15000 600~900 钼，钽，电子枪 红外膜 N_
ODr]L
硫化锌 2.4/1200nm 400~14000 1100 钼，钽，电子枪 多层膜 y" H5>
氟化钇 红外膜(10.61.49/632.8nm 200~15000 1100 钼 m)增透膜 iY`[dsT
氟化镨 1.51/632.8nm 220~15000 红外膜(10.61400~1600 钼，电子枪 m)增透膜 o%Q9]=%!
氟化铝 1.35/500nm 200~8000 800~1000 电子枪，钼，钽 紫外膜 (A2ga):Pk
氟化铅 1.76/470nm 220~9000 700~1000 铂 紫外膜 I0l3"5X
a
氧化钆 1.8/550nm 320~15000 2200 增透膜
