我这用的是西沃克的1350机台,腔体包食品级锡纸,热阻蒸发单层ZNS-1300nm,有考夫曼离子源辅助镀膜600nm。
uA;3R\6? MFHPh8P 做完之后通过
显微镜观察,发现有这种缺陷。
`!MyOI`qS
&y1' J 然后我们把蒸发速率降低到6A/S,发现这种缺陷数量降低了一半。但还是存在;
f_1#>] v4L#^Jw(^p 我们对这种缺陷进行了EDS分析发现基本没有ZNS,颜色是高度差形成的色彩。
<}pwFl8C) I\R5Cb<p 目前产品还是有这种缺陷,就想请教一下各位前辈,这种缺陷的产生是什么原因,有没有办法能够避免掉这种产生。
1jZ:@M: )c@I|L yI9~LTlA3 riI0k{