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    [求助]求助:如何预防蒸发镀膜的缺陷产生以及解决? [复制链接]

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    在线飞奔的牛
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 08-03
    我这用的是西沃克的1350机台,腔体包食品级锡纸,热阻蒸发单层ZNS-1300nm,有考夫曼离子源辅助镀膜600nm。 uA;3R\6?  
    MFHPh8P  
    做完之后通过显微镜观察,发现有这种缺陷。 `!MyOI`qS  
     & y1' J  
    然后我们把蒸发速率降低到6A/S,发现这种缺陷数量降低了一半。但还是存在; f_1#>]  
    v4L#^Jw(^p  
    我们对这种缺陷进行了EDS分析发现基本没有ZNS,颜色是高度差形成的色彩。 <}pwFl8C)  
    I\R5Cb<p  
    目前产品还是有这种缺陷,就想请教一下各位前辈,这种缺陷的产生是什么原因,有没有办法能够避免掉这种产生。 1jZ:@M :  
    )c@I|L  
    yI9~LTlA3  
    riI0k{   
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    离线nailiang
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    只看该作者 1楼 发表于: 09-14
    哥们你做的是不是CAP啊,烟台?
    离线脩涂
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    只看该作者 2楼 发表于: 09-20
    有考虑更换其他品牌的ZNS膜料吗?
    在线飞奔的牛
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    只看该作者 3楼 发表于: 5小时前
    回 nailiang 的帖子
    nailiang:哥们你做的是不是CAP啊,烟台? (2026-09-14 17:14)  1SkGG0 W  
    Gyy:.]>&  
    是滴,晶圆盖帽
    在线飞奔的牛
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    只看该作者 4楼 发表于: 5小时前
    回 脩涂 的帖子
    脩涂:有考虑更换其他品牌的ZNS膜料吗? (2026-09-20 12:34)  o1zc`Ibd  
    6gakopZO  
    我用过其它品牌的ZNS料,做过对比试验,发现都有
    在线ertop
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    只看该作者 5楼 发表于: 53分钟前
    速率再慢一点, 有没有试试看