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    [求助]請問如何解決濺鍍時針孔問題 [复制链接]

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    离线sorry6741
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-05-17
    我們公司是做mirror的,可是鍍完後針孔非常多(濺鍍機為直立式),大小在0.3~0.4mm,實在是很難解決,靶材距離基板150mm,膜層第一層有打底,我想問的是: W(k:Pl#  
    1.靶材和基板距離對針孔產生會有影響嗎? EhXiv#CZ  
    2.磁場分佈不均勻會有影響嗎? nYov>x]  
    3.基板材質會有影響嗎? UvD-C?u'  
    4.不同底層會有影響嗎? G ]lvHD  
    5.機台內部環境(粉塵)會有影響嗎? =h\E<dw  
    fOW_h  
    請各位能幫我解決這些疑惑?現在客人都要求針孔要<0.1mm,真得很難做,謝謝
     
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    离线cswmsc
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    只看该作者 1楼 发表于: 2007-05-20
    你首先得判断针孔的来源:是基板清洗问题?真空室粉尘问题?靶材问题?然后才能对症下药。
    离线sorry6741
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    只看该作者 2楼 发表于: 2007-05-20
    目前實在是很難判斷何處產生,所以才會請教各位看官,你們會有針孔的問題嗎?
    离线flyinlove79
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    只看该作者 3楼 发表于: 2007-05-23
    镀金属反射膜,很容易出现針孔的。2楼的说的对,必须先找出问题的起因。
    离线荷塘月色
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    只看该作者 4楼 发表于: 2007-07-02
    你们的产品的针孔确实是够大的了。首先得判断针孔的规则:是很圆型?还是不规则型?如是圆型,是油水造成的;如是不规则型,则是尘点吸附造成的。与过程控制有关。与上述1、2项内容无关。