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    [求助]請問如何解決濺鍍時針孔問題 [复制链接]

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    离线sorry6741
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-05-17
    我們公司是做mirror的，可是鍍完後針孔非常多(濺鍍機為直立式)，大小在0.3~0.4mm，實在是很難解決，靶材距離基板150mm，膜層第一層有打底，我想問的是： }W:Z>vam+  
    1.靶材和基板距離對針孔產生會有影響嗎？ +`Q]p" G  
    2.磁場分佈不均勻會有影響嗎？ k-n`R)p:  
    3.基板材質會有影響嗎？ *w*K&$g  
    4.不同底層會有影響嗎？ Yl&[_ l  
    5.機台內部環境(粉塵)會有影響嗎？ w%qnH e9  
    }FS_"0  
    請各位能幫我解決這些疑惑？現在客人都要求針孔要<0.1mm，真得很難做，謝謝
     
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    离线cswmsc
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    只看该作者 1楼 发表于: 2007-05-20
    你首先得判断针孔的来源：是基板清洗问题？真空室粉尘问题？靶材问题？然后才能对症下药。
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    离线sorry6741
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    只看该作者 2楼 发表于: 2007-05-20
    目前實在是很難判斷何處產生，所以才會請教各位看官，你們會有針孔的問題嗎？
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    离线flyinlove79
    论坛版主
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    只看该作者 3楼 发表于: 2007-05-23
    镀金属反射膜，很容易出现針孔的。2楼的说的对，必须先找出问题的起因。
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    离线荷塘月色
    实习生
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    只看该作者 4楼 发表于: 2007-07-02
    你们的产品的针孔确实是够大的了。首先得判断针孔的规则：是很圆型？还是不规则型？如是圆型，是油水造成的；如是不规则型，则是尘点吸附造成的。与过程控制有关。与上述1、2项内容无关。
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