上次说错了,标准zernike系数可以达到231项,而fringe zernike 只有37项,是标准zernike的一个子集。而且两种zernike多项式的表达式是不同的。具体使用哪个,要看你在求zernike系数时是用哪个式子来求的。而phase(相位)和sag(矢高)这两个对应不同的情况。后者适用于轮廓仪求出的轴向的矢高(在ansys软件给出的节点位移求得的zernike系数拟合也是选用此项),而前者则用于由干涉仪检测所得的zernike系数的拟合。 #~ u0R>=
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在zemax中,在extra data editor一栏中有import一栏,可以直接读取后缀为.dat格式的文件中的zernike系数。文件格式如下: o96C^y{~S
第一行:对应于拟合最大项数 .Eao|;
第二行:归一化半径 ($[wCHU`!
第三行:zernike系数第一项 _fGTTw(
以下类推 x]~TGzS
Wa_qD
在codev软件中,zernike系数的输入可以运用int命令(这个我没有试过)。另一中方面是将上面所提文件中的系数全选,复制。在codev软件的面型属性中选择zernike面型后,单击选中(而不是双击输入)拟合最大项数这一个单元格,再粘帖即可。 pfA6?tP`
TCtZ2
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这两种方法,都避免了在光学软件中一个个输入系数,劳动量大又容易出错。