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摘要 \/qo2'V
j` KImBQ2 ^Tu 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 aC!e#(q _ ^ JhncL
4?eO1=a 0cGO*G2Xr 设计任务 tccw0 W#|30RU.G 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 [nSlkl
F+!w[}0
L>trLD1pt R=7,F6. 光栅级次分析模块设置 adCTo *8I+D>x B|fh 4FNy 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 62-,!N 1- !
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\r.{Ru NE~R&ym9 ^<$$h 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 Y5dt/8Jo 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 $Gy& 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 ?'xwr)v 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 H$@5\pP> 7%MD0qm-
9~rrN60Q 衍射分束器表面 c6 f=r \Fh#CI
ce&Q}_ Q<c{$o 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 jV|j]m&t y^u9Ttf{
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^CBc~um2 uc~/l4~N 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 8h?):e qOqU
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n)<S5P? $n><p>` 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 7]8nW!h; 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 bb4 `s0 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 n5NwiSE #/,Wgs AC
Lu][0+- w7d<Ky_C 光栅级次和可编程光栅分析仪 uHQf <R$: $b CN;yE
rYKGBo8" 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 zbL8
pp Lw1aG;5 m~f J_ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 >WZ_) `R (DnrJ.QU}t yQ03&{# 设计与评估结果 x
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f? 相位功能设计 sX
c|++ 结构设计 J$>9UCk7B TEA评价 r7zS4;b FMM评估 >qL-a*w:a 高度标度(公差) vmGGdj5aI N?3BzI%? 通用设置 MXP3ZN' v1`*}.# {Q(R#$)5+ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 K\VL[HP- 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 <tn6=IV +M{A4nYY|1 1
k\~% 纯相位传输设计 /lb"g_ w|G4c^KH
[dIlt"2fV 0_f6Qrcj 结构设计 T*"*##c KmX?W/%R
3$n O@rOS 6 mml96( w7e+~8| 更深的分析 JU`5K}H< •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 K)&oDwk •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 K?]c •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 *Z}9S9YtN [9H986=
d) $B vwIP8z~< 使用TEA进行性能评估 ;Ob`B@!=b XNaiMpp'
QT)5-Jy f2]O5rXp 使用FMM进行性能评估 =C4!h'hz qgkC)
;a9`z+ K P>wTp) 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 64 83v' =2& |