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摘要 p&HkR^.S d/E0opv 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 =BzBM`-o +@<@x4yt
r1sA^2g. j0S[JpoF 设计任务 'JAe=K
H h\8bo= 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 3GZrVhU?m _ sBFs.o
N
Q}5' @>[3[; 光栅级次分析模块设置 s_6Iz^]I ) 3I|6iS h5[.G! 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 'A/f>W T"E%;'(cp)
Ky{C;7X KzB9
mMrO u)l[*";S 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 (-{.T 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 Qa1G0qMEIF 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 x!UGLL]_M 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 8+~'T| 3UJSK+d\
lV?OYS|4i 衍射分束器表面
--TY[b K Z0%J5
5ma~Pjt8} XMpE|M!c 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 !3o]mBH8 ~uJO6C6A
vFK(Dx U?ZxQj66}
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aS&r> I0sw/,J/Z 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) `~LaiN. ~-NlTx
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ins/-3 7[(<t+ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 </qli-fXB} 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 )(`,!s,8) 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 tEllkHyef {^Q1b.=
o]0\Km SY+$8^ 光栅级次和可编程光栅分析仪 _^Q =n>G @|9V]bk
tVAH\*a,/ 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 &fwb?Vn4 g=kuM ,in"8aT}~ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 m H&WoL<K -[>G@m:?e t%30B^Ii%K 设计与评估结果 Vxim$'x! 相位功能设计 *iujJi 结构设计 fngk<$lvg TEA评价 1.q
a//'RW FMM评估 ~H`(z zk 高度标度(公差) I#](mRJ6 +q)B4A'J! 通用设置 _,E! < bOdyrynh O`='8'6zW\ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 #jX%nqMxW 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 7f
q\
H{ tfq; KR "\x\P)j0> 纯相位传输设计 ZbLN:g} OEj%cB!
9rQw~B<S w_^g-P[o- 结构设计 {#uf#J| T~-PT39E
(ysDs[?\ M9dUo7 8nHFNOv6 更深的分析 DX@*lM •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 V?+Y[Q •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 Z<6Fq*I •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 /?
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>,QW74o bY7~b/ 使用TEA进行性能评估 >PK\bLEo he1W22
gAViwy9{ ttC+`0+H 使用FMM进行性能评估 =;@?bTmqD RF.8zea{O`
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rD SUhO{V 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 Xu#K<#V *[[TDduh&
MbeO(Q p}R3AJ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ]{'lV~fc 9<S};I;
]NgEN ~V<62"G 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 NKS-G2Y<P f1UGDC<p9
/J0ctJ2k ITu5Y"x VirtualLab Fusion技术 H@pF3gh %["V "{ z
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