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摘要 t_^4`dW` w{KavU5W 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 "sTRS* AH^/V}9H
80I#TA6C ^c|/*u 设计任务 kmW4:EA% s<Ziegmw|g 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 Ac@VGT:9 c)J%`i$
qPNR`%}Q ?4 ,T}@P 光栅级次分析模块设置 &yg|t5o (=0.in Z h{Y",7]! 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ]kSG R .Mbz3;i0
!0+JbZ<%r| 9;{CIMg& {c'lhUB 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 W1~0_; 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 X'srL j. 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 %J(:ADu] 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 e
,(mR+a8 **%37
T)/eeZ$ 衍射分束器表面 C+$#y2"z#n MtdG>TzUn
1}x%%RD_ /m1\ iM\ 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 Cdn J&N{ +7Gwg
@gblW*Zhk %b$>qW\*&
ftb\0,- pi(m7Ci" 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) |Cv!,]9:r @d'j zs
p K*TE5] >MZ/|`[M 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ="+#W6bZT 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 5m@V#2^P 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 BGSw~6 )lkjqFQ(
C%u28| {7[Ox<Ho 光栅级次和可编程光栅分析仪 x2xRBkRg= C|bET
6nn*]|7 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 K(4_a``05 %{W6PrY{ rq{$,/6. 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 [Xkx_B 6ujWNf X|dlt{Gf
设计与评估结果 pa+hL,w{6 相位功能设计 2?C)& 结构设计 203s^K61 TEA评价 0GwR~Z}Z FMM评估 8*X4\3:*N 高度标度(公差) KI.unP% 0GL M(JmK 通用设置 ".%k6W<n WJi]t9 3 >P(.:_^p 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 HS$r8`S?) 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 C!gZN9- i8p6Xht gXU8hTd8 纯相位传输设计 +`4A$#$+y WH\d| 1)
+@UV?"d @ Qe0! (_= 结构设计 }p
V:M{Nu& hH.G#-JO
ceA9){ 'u658Tj [g,}gyeS( 更深的分析 YSMAd-Ef- •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 #yen8SskB •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 !D6]JPX •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 DG/Pb)%Y
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\vNU,WO AA_%<zK 使用TEA进行性能评估 <@}9Bid!o xno\s.H%]
Bvj0^fSm KoY F] 使用FMM进行性能评估 a*;b^Ze`v I fir ,8
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# @HW*09TG 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 hZ3bVi)L\ *:1ey{w:
'qi}|I AW .F3hN) 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 6~{C.No}
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llDJ@ 6zkaOA46V 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 }G=M2V<L NA*#~
R]dg_Da ex|F|0k4} VirtualLab Fusion技术 Cw%{G'O fM}#ON>Z
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