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    [求助]光学薄膜实际膜厚测量 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-20
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    镀的AR膜,想要测试薄膜的实际镀膜厚度和实际的材料折射率;实际镀膜厚度使用的台阶仪进行测量的,但测量出来的曲线不理想,差距也很大,想问下大家都是用的什么设备来测试的啊~ sI4Ql0[  
    本来是准备实际膜厚出来以后再用椭偏仪测试实际的材料折射率的,结果第一步就卡住了~ tgEXX-{  
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 02-20
    镀厚一点的单层然后测,再和水晶膜厚比对一下。 =+`I%>wc  
    o mstJ9  
    实际上层和层之间是有过渡的, Kt3/C'zu  
    层开始和结束的时候因为速率不稳会也导致折射率变化。 fdP[{.$?(  
    所以求个大概就可以了。 C=2"*>lTn  
    离线morningtech
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    只看该作者 2楼 发表于: 02-20
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    版主说的对,先做单层膜。 kK+ <n8R2  
    用光谱仪测光谱,然后用光学薄膜软件模拟出折射率和厚度。大多数这样做。 RbUBKMZ U  
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    只看该作者 3楼 发表于: 02-20
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:镀厚一点的单层然后测,再和水晶膜厚比对一下。
    实际上层和层之间是有过渡的, Q$Y ]KV  
    层开始和结束的时候因为速率不稳会也导致折射率变化。 #M$Gj>E%4  
    所以求个大概就可以了。 m":lKXpQ  
    ....... (2025-02-20 11:31)  P+00wbx0  
    pj?wQ'  
    我是做的单层膜,多个样,厚度从薄到厚(从几十到数百纳米),因为我担心随厚度的加厚差异值是不是呈线性关系; $w{!}U2+-  
    所以不用考虑线性非线性影响,镀单层较厚的膜做比较对比就可以了是吗
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    只看该作者 4楼 发表于: 02-20
    回 morningtech 的帖子
    morningtech:版主说的对,先做单层膜。 iDp'M`(6h  
    用光谱仪测光谱,然后用光学薄膜软件模拟出折射率和厚度。大多数这样做。 @uru4>1_dy  
     (2025-02-20 13:14)  a "*DJ&  
    ]P lD e8  
    我的是AR膜,单层膜的话一般镀多厚呢?还是都可以不影响,如果是光谱仪测光谱的话(用分光光度计?)
    离线morningtech
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    只看该作者 5楼 发表于: 02-20
    几百nm.  分光光度计
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    只看该作者 6楼 发表于: 02-21
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    白光干涉仪
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    只看该作者 7楼 发表于: 02-21
    感兴趣的话,可以留言给我。我们这边有个老师有这款产品,性价比很高
    离线ouyuu
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    只看该作者 8楼 发表于: 02-26
    回 兜兜吃葡萄 的帖子
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    兜兜吃葡萄:我的是AR膜,单层膜的话一般镀多厚呢?还是都可以不影响,如果是光谱仪测光谱的话(用分光光度计?) (2025-02-20 13:57)  | rY.IbL  
    D{%l 4og  
    如果想精度高一点的话,一般分光仪测量范围内要有2-3个PEAK。 Pfy2PpA  
    这样用软件模拟出来会好一点。 u}zCcWP|L  
    几百个纳米是需要的。像二氧化硅可能还要多镀一点。
    离线ouyuu
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    只看该作者 9楼 发表于: 02-26
    AR膜因为薄层比较多,膜与膜之间过渡的折射率不好仿真,所以软件只能模拟个大概,余下的精修要靠经验。设备的机差会很大。