c8Je&y8 时间地点 Oe
~g[I; 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
Fj4>)!^kM 苏州黉论教育咨询有限公司
W`v$-o- 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
y4)iL?!J~ 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
%%FzBbWAO 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
5.d[C/pRw 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
50""n7I<% e2^TQv2(=e 课程简介 c{
([U 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
4-m6e$p; 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
T>68 ,; p 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
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:h%i| 1xI 课程大纲 < 1[K1'7h 第一天
MXiQWg$ 1. 基本干涉原理
%Ai' 6 干涉发生的条件
]I_*+^?tI 杨氏双缝特性
m!5Edo-;< 2. 典型的干涉仪系统建模
*3)kr=x 光学层析扫描在面型检测中的应用
[ ou$* 基于涡旋光的干涉测量系统
k%BU&%?1
激光准直镜的测量
k!Q{u2 基础Mirau干涉仪的仿真
l dqU#{ Q&A
=*1NVi $n 第二天
A=3L_
#nO 1. 干涉系统的应用
u"4B5D
光学系统部分相干性测试
(zh[1[a 法布里腔干涉仪分辨
光谱 f7y.##W G 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
uFhaN\S 全息曝光干涉
]IE Z?+F, 2. 多尺度系统建模仿真
\ 'Va(}v 衍射
光栅干涉测量
'qvj[lpGr 阿贝
成像理论
JQ6M,O 单色仪/光谱仪系统仿真
SnR2o3r-Of 用于微结构晶圆检测的光学系统
!|up"T I 不同轮廓亚
波长光栅的成像
lLDZ#'&An 结构光
照明显微镜与STED显微镜
^sB0$|DU SPR表面等离子共振效应
IzJq:G. 3. 摩尔纹系统
X\/M(byn 摩尔纹检测系统
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TV Q&A
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