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2+?M(=4 内容简介 J\ 3~ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 vO&1F@ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 +5T0]! 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 LL,~&5{ p$"*U[%l 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ?^@;8m 目录 8\ :T*u3 Preface 1 EI f~>AI 内容简介 2 dB1bf2'b# 目录 i 'vCFT(C- 1 引言 1 M=!x0V ; 2 光学薄膜基础 2 0c`wJktWK 2.1 一般规则 2 nq$^}L3&~ 2.2 正交入射规则 3 &i!.6M2 2.3 斜入射规则 6 AalyEn&> 2.4 精确计算 7 R a9/L 2.5 相干性 8 02=eE|Y@ 2.6 参考文献 10 2=U4'C4# 3 Essential Macleod的快速预览 10 kszYbz " 4 Essential Macleod的特点 32 NVOY,g=3X 4.1 容量和局限性 33 {cG&l:-r 4.2 程序在哪里? 33 8cW]jm 4.3 数据文件 35
w1iQ#.4K_ 4.4 设计规则 35 `|]juc 4.5 材料数据库和资料库 37 K@?S0KMK 4.5.1材料损失 38 oFY'Ek;d 4.5.1材料数据库和导入材料 39 fHe3 :a5+W 4.5.2 材料库 41 ~>qcV=F^d, 4.5.3导出材料数据 43 `VS/Xyp 4.6 常用单位 43 ;%Z)$+Z_)< 4.7 插值和外推法 46 xOEj+%M 4.8 材料数据的平滑 50
cvAkP2 4.9 更多光学常数模型 54 :MJTmpq, 4.10 文档的一般编辑规则 55 = [:ruE 4.11 撤销和重做 56 \bfNki 4.12 设计文档 57 JZai{0se 4.10.1 公式 58 |qZ4h7wL 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 <.:B .k 4.10.3 沉积密度 59 jg 2>=} 4.10.4 平行和楔形介质 60 n.Ekpq\ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 &:Raf5G-E 4.10.4 性能 61 J/)Q{*`_ 4.10.5 保存设计和性能 64 [,lBY-Kz+ 4.10.6 默认设计 64 zvSfW#
* 4.11 图表 64 Knn$<!> 4.11.1 合并曲线图 67 0naegy?, 4.11.2 自适应绘制 68 C~kw{g+| 4.11.3 动态绘图 68 c!6.D 4.11.4 3D绘图 69 UXe @c@3 4.12 导入和导出 73 QDLtilf : 4.12.1 剪贴板 73 {:!*1L 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 +AXui|mn 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 6$`8y,TMSt 4.13 背景 77 hoPCbjkov 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 3rOv j&2 4.15 生成Rugate 84 o2&mhT 4.16 参考文献 91 9'T
nR[> 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 BK6oW3wD/ 5.1 Jobs 92
rfoLg 5.2 创建一个新Job(工作) 93 %~G)xK?W* 5.3 输入材料 94 l8jm7@.E 5.4 设计数据文件夹 95 &@nI(PXv 5.5 默认设计 95 W!htCwnkF 6 细化和合成 97 kOeW,:&65 6.1 优化介绍 97 !$Nh:(>: 6.2 细化 (Refinement) 98 Wc#4%kT 6.3 合成 (Synthesis) 100 1;S@XC> 6.4 目标和评价函数 101 7oK!!Qd^w 6.4.1 目标输入 102 "){"{~ 6.4.2 目标 103 arRbq!mO 6.4.3 特殊的评价函数 104 ?>DN7je 6.5 层锁定和连接 104 E%2]c?N5 6.6 细化技术 104 qy/xJ>: 6.6.1 单纯形 105 kpLDK81I 6.6.1.1 单纯形参数 106 +<&_1%5+ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 `Z0FQ( r_ 6.6.2.1 Optimac参数 108 3Vs8"BFjz 6.6.3 模拟退火算法 109 h 5<46!P 6.6.3.1 模拟退火参数 109 bRfac/:} 6.6.4 共轭梯度 111 UM3}7| 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 _-$(=`8|<{ 6.6.5 拟牛顿法 112 <0T|RhbY 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 =g
UOHH 6.6.6 针合成 113 0EKi?vP@y7 6.6.6.1 针合成参数 114 #8i DM5:EQ 6.6.7 差分进化 114 l|j 6.6.8非局部细化 115 }&F|u0@b 6.6.8.1非局部细化参数 115 gwm!Pw j 6.7 我应该使用哪种技术? 116 WBK6Ug 6.7.1 细化 116 <Y:{>= 6.7.2 合成 117 P XKEqcQR 6.8 参考文献 117 ~l+2Z4nV 7 导纳图及其他工具 118 _ VKBzOH 7.1 简介 118 Uc^e Ia@ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 A+de;& 7.2.1 四分之一波长规则 119 g]vo."}5E 7.2.2 导纳图 120 Je5}Z.3m 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 GRM6H|. 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 qILb># 7.5 斜入射导纳图 141 xhK8Q 7.6 对称周期 141 X6*4IE 7.7 参考文献 142 X|y(B%: 8 典型的镀膜实例 143 %PM&`c98z7 8.1 单层抗反射薄膜 145 . |%n"{ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 '
Dcj\=8 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 x{4{.s%+: 8.4 W-膜层 148 :y'EIf 8.5 V-膜层 149 )0+6^[Tqq 8.6 V-膜层高折射基底 150 3>M%?d 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 VK286[[fv 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 g&z8t;@ 8.9 四层抗反射薄膜 153 V^Y'!w\LGI 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 *,& 2?E8 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 %
bfe_k( 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 6~c#G{kc 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 v|\3FEu@ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ~-R%m 8.15十五层宽带抗反射膜 159 cX7 O*5C 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 xP4}LL9) 8.17 1/4波长堆栈 162 ;NU-\<Q{ 8.18 陷波滤波器 163 (Zg']) 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 B6=?Qp/f 8.20 褶皱 165
b:Z&;A|"{ 8.21 消偏振分光器1 169 0FSN IPx 8.22 消偏振分光器2 171 J0V`sK 8.23 消偏振立体分光器 172 wXjidOd$ 8.24 消偏振截止滤光片 173 <Pzy'9 8.25 立体偏振分束器1 174 'X<4";$mU 8.26 立方偏振分束器2 177 WP2=1"X63 8.27 相位延迟器 178 IjGPiC 8.28 红外截止器 179 @}=(4% 8.29 21层长波带通滤波器 180 G %'xEr0n 8.30 49层长波带通滤波器 181 cbN;Kv?ak} 8.31 55层短波带通滤波器 182 X NgcBSD 8.32 47 红外截止器 183 +F-EgF+J 8.33 宽带通滤波器 184 $=iw<B r 8.34 诱导透射滤波器 186 K!]a+M]> 8.35 诱导透射滤波器2 188 ^M{,{bG 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 sUF9_W5z 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 `78Bv>[A 8.35 增益平坦滤波器 193 I`zd:o] 8.38 啁啾反射镜 1 196 !_vxbfZO 8.39 啁啾反射镜2 198 )adV`V%=> 8.40 啁啾反射镜3 199 AdVc1v&> 8.41 带保护层的铝膜层 200 l+[:Cni 8.42 增加铝反射率膜 201 x-"8V( 8.43 参考文献 202 %xN${4)6 9 多层膜 204 T'9ZR,{F 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ia7<AwV 9.2 内部透过率 204 4qdoF_ 9.3 内部透射率数据 205 &\1n=y 9.4 实例 206 rUpe ;c 9.5 实例2 210 V(_1q 9.6 圆锥和带宽计算 212 P0e-v0 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 U@M3.[jw 10 光学薄膜的颜色 216 J91[w?, 10.1 导言 216 SRwD`FF 10.2 色彩 216 N ai5!_' 10.3 主波长和纯度 220 d{"-iw)t 10.4 色相和纯度 221 #obRr#8 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 $c9-Q+pZ 10.6 色差 226 "|h%Uy?XY 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 MfP)Pk5 10.8 颜色渲染指数 234 ZUHRATT- 10.9 色差计算 235 PVsKI< 10.10 参考文献 236 R|C2O[r} 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ikW[lefTq 11.1 短脉冲 238 `&M,B=E 11.2 群速度 239 vd{QFJ 11.3 群速度色散 241 P(hGkY=( 11.4 啁啾(chirped) 245 ")T\_ME 11.5 光学薄膜—相变 245 yd).}@ 11.6 群延迟和延迟色散 246 h q)1YO 11.7 色度色散 246 {%f{U"m 11.8 色散补偿 249 /]_ t-> 11.9 空间光线偏移 256 64<;6* 11.10 参考文献 258 <eoie6@3 12 公差与误差 260 W6&vyOc 12.1 蒙特卡罗模型 260 }(oeNPM8 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 x@t?7 o\& 12.2.1 误差工具 267 yO q@w!xz 12.2.2 灵敏度工具 271 mHxR4%i5 12.2.2.1 独立灵敏度 271 $"r9U|6kk 12.2.2.2 灵敏度分布 275 m1l6QcT1 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 7;s#QqG`I 12.3 参考文献 276 uh)S;3| 13 Runsheet 与Simulator 277 98>GHl'lM 13.1 原理介绍 277 0B}4$STOo[ 13.2 截止滤光片设计 277 /|IPBU 5 14 光学常数提取 289 VPe0\?!d 14.1 介绍 289 FJ:^pROpm 14.2 电介质薄膜 289 ilA45@ 14.3 n 和k 的提取工具 295 9
r!zYZ`)
14.4 基底的参数提取 302 Xw-[Sf]p 14.5 金属的参数提取 306 # ]7Lieh[5 14.6 不正确的模型 306 FACw;/rW 14.7 参考文献 311 or/gx 3 15 反演工程 313 G0E5Y;YIN$ 15.1 随机性和系统性 313 n0xGIq 15.2 常见的系统性问题 314 ;mkkaW,D* 15.3 单层膜 314 ,o&C"sb 15.4 多层膜 314 CD$#}Id 15.5 含义 319 ~HZdIPcC 15.6 反演工程实例 319 d$zJLgkA 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 c0qp-=^&. 15.6.2 反演工程提取折射率 327 5(3O/C{?~ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 qt@L&v}~j 16.1 光学性质的热致偏移 329 K3T.l#d'L 16.2 应力工具 335 E
TT46%Y 16.3 均匀性误差 339 .ZpOYhk 16.3.1 圆锥工具 339 K^Awf6% 16.3.2 波前问题 341 Lo%n{*if 16.4 参考文献 343 F (*B1J2_g 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 \|]mClj# 17.1 引言 345 Nep4J; 17.2 操作数 345 [#PE'i4 18 如何在Function中编写脚本 351
`o[l%I\Q 18.1 简介 351 {.p.? 18.2 什么是脚本? 351 "
kDiK`i 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 o).deP
s- 18.4 基础 352 3JCo!n0 18.4.1 Classes(类别) 352 Q7BbST+ 18.4.2 对象 352 g'8Y5x[ 18.4.3 信息(Messages) 352 j~CnMKN 18.4.4 属性 352 i0vm00oT 18.4.5 方法 353 ,>GHR{7>( 18.4.6 变量声明 353 D|]BFu)F 18.5 创建对象 354 eqbN_$> 18.5.1 创建对象函数 355 yvAO"43 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 MdHm%Vx 18.5.3 丢弃对象 356 SmRlZ!%e 18.5.4 总结 356 _yg_?GH 18.6 脚本中的表格 357 t]/eCsR 18.6.1 方法1 357 3H,E8>Vd 18.6.2 方法2 357 +r:g }iR 18.7 2D Plots in Scripts 358 p"g|]@m 18.8 3D Plots in Scripts 359 }>A
q<1% 18.9 注释 360 mk-{@$Q Jb 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 RK3 yq$ 18.11 一个更高级的脚本 362 nhV"V`|d 18.12 <esc>键 364
Ei;tfB 18.13 包含文件 365 y.r N( 18.14 脚本被优化调用 366 IGlR,tw_/ 18.15 脚本中的对话框 368 )!T~l(g 18.15.1 介绍 368 iI3:<j
l 18.15.2 消息框-MsgBox 368 2]>O ZhS 18.15.3 输入框函数 370 v}B%:1P4 18.15.4 自定义对话框 371 f6Qr0Op 18.15.5 对话框编辑器 371 !`DRJ)h 18.15.6 控制对话框 377 ys[Li.s: 18.15.7 更高级的对话框 380 p>6`jr 18.16 Types语句 384 ZnG.::&: 18.17 打开文件 385 6Rc=!_v^ 18.18 Bags 387 { e|qQ4~h 18.13 进一步研究 388 m,l/=M 19 vStack 389 d2k-MZuT6 19.1 vStack基本原理 389 jc^QWK*q 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 SN{z)q
19.3 五棱镜 393 8{ zX= 19.4 光束距离 396 6{Wo5O{!\ 19.5 误差 399 -YRIe<}E - 19.6 二向分色棱镜 399 )2}R1K> 19.7 偏振泄漏 404 rIyH/=; 19.8 波前误差—相位 405 5!-TLwl`j\ 19.9 其它计算参数 405 bJ^JK 20 报表生成器 406 $] 6u#5 20.1 入门 406 b}e1JPk}! 20.2 指令(Instructions) 406 +y7z>Fwl 20.3 页面布局指令 406 P 7x;G5'. 20.4 常见的参数图和三维图 407 Zk3Pv0c 20.5 表格中的常见参数 408 0[;2dc 20.6 迭代指令 408 9shfy4?k 20.7 报表模版 408 mxc)Wm<4 20.8 开始设计一个报表模版 409 z>x@o}#u\| 21 一个新的project 413 . [|UNg 21.1 创建一个新Job 414 .l}Ap7@ 21.2 默认设计 415 C2
N+X ( 21.3 薄膜设计 416 {#,<)wFV\ 21.4 误差的灵敏度计算 420 /{M<FVXK+| 21.5 显色指数计算 422 rp Nb. 21.6 电场分布 424 6j#JhcS+ 后记 426 L/3A g*
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