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摘要 eI2041z =2Ju)!%wr 分析特定衍射级的衍射效率是光栅结构的典型建模任务。由于特征尺寸和周期较小,与使用的光波长相当,因此必须通过严格的方法计算效率。众所周知的FMM或RCWA是解决此任务的一种常用算法,在VirtualLab Fusion中也可用。这种全矢量方法的结果是复数瑞利系数,它包含每阶所需的所有场信息,从中可以获得相应的效率。VirtualLab Fusion中的光栅顺序分析器帮助我们生成并以图像方式显示复杂光栅结构(一维/二维周期)的所有信息。 iMVQt1/ aQhT*OT{Q
lN.&46
e f:q2JgX 光栅规格 !h&h;m/c 1|*% /L,iF?7 •为了演示光栅阶数分析器,使用了具有正弦光栅形状的一维光栅以及多层光栅。 ]mBlXE:Z •操作中的层,提供高反射(HR)功能。 El`G<esX •光栅参数在堆栈中设定,其通过光栅组件的编辑对话框中完成。 @bkSA &hpznIN
6wiuNGZb 3rh t5n2- 光栅级次分析器设置 <c`,fd8 ">|L< '&/Y}] •定义光栅结构后,可使用所需的光栅级次分析器计算瑞利系数和相关衍射特性。 =w7k@[Bq •此外,各种输出选项可用于显示结果。 .Xta;Py|J •这是通过分析器的编辑对话框完成的,该对话框通过双击光学设置视图中的相应元件显示。 @)ozgs@e "gpfD-BX
w4y???90) Z_<Wr7D 通用设置 GB>h8yXH Ft2ZZ<As
a;7gy419<p •在“常规”选项卡中,您可以选择分析透射或反射。 =Oh/4TbW[ •此外,您可以指定光栅分析器输出需要的文件。 ^sZHy4-yK# −级次收集:生成一种类型的文档,该文档提供视场/光强在级次中的分布方式的可视化表示,并包含以数字形式显示的信息。级次收集是为传输和反射单独生成的。有关级次收集文档的更多信息,请参见下一张幻灯片。 .@(MNq{"6 −单级次输出:激活菜单右侧的“单级次”选项卡。(见下页) !Je!;mEvI −总和传输,吸收和反射:相应的信息(即,能量在这三种效应中如何分布,不进一步将结果细分为单个光栅级次,而是作为总值)将显示在探测器结果选项卡中,或作为参数运行或参数优化的结果。 '\7&I |