切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 189阅读
    • 1回复

    [求助]AR膜中间脱膜 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线飞奔的牛
    实习生
     
    发帖
    14
    光币
    32
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 01-22
    6层膜，GE/ZNS/  GE/ZNS/  GE/ZNS,膜层在ZNS之后镀GE脱膜，晶圆经过划成小片，边缘出现中间膜层脱膜。想求助一下是什么原因 S&{#sl#e  
    目前怀疑是ZNS+GE之间膜层结合力不好 k[8{N  
     
    回复
    举报
    分享到
    离线ouyuu
    论坛版主
    发帖
    559
    光币
    3331
    光券
    1
    只看该作者 1楼 发表于: 前天 11:33
    真空度，温度，镀膜速率都有关系的。另外你是用什么镀的？阻蒸还是电子枪？
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表