摘要
OJ/SYZ.r P+Z\3re &g0g]G21*I 衍射光栅的定义特征是其
结构的周期性,根据傅里叶理论预测,这种周期性会导致入射光在透射和反射中被分成一组离散的级次。这些传播级次的数量,以及每个级次的偏转
角度,取决于辐射的
波长、光栅前后介质的
折射率、结构的周期和入射角。这种依赖关系在数学上被编码在光栅方程中。在这个使用案例中,我们介绍了
VirtualLab Fusion的衍射角计算器,这是一种用于涉及光栅方程计算的便捷工具。
iYKU[UP? p)3nyN=|_ 打开衍射角计算器 -;pOh;WG 0pN{y}x, })[($$f/ 设置输入参数 %>y;zqZIU eN/G i< \H4U8)l 选择要显示的衍射级次 Y)M8zi>b l}}UFEA^ GaBTj_3 光栅方程 KG8W8&q tZA: qC@Ar)T 衍射级次图 T2weAk#J >F3.c%VU]w A#DR9Eq 衍射级次图 U<Jt50O jGD%r~lN ."mlSW"Wm 示例 vPmnN^ |!LnAh 2
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B - 傅里叶模态法对闪耀光栅的分析
Q$a - 薄元近似法(TEA)与傅里叶模态法(FMM)在光栅建模中的比较