摘要 XUF\r]B,9
fS:1^A2,
1RKW2RCaW_ } %'bullT 掠入射反射
光学元件在X射线光路中广泛使用,特别是Kirkpatrick-Baez(KB)椭圆
反射镜系统。(A. Verhoeven, et al., Journal of Synchrotron Radiation 27.5 (2020): 1307-1319)聚焦是通过使用两个物理分离的椭圆反射镜聚焦二维
光束来实现的。进入系统的X射线可以通过系统聚焦到
纳米尺度大小的
光斑。该系统在VirtualLab Fusion中进行了建模和
仿真,并计算了焦点位置的电场。
c,Euv>*` zvvP81$W 建模任务 >I<r)w] 系统
参数来源于A. Verhoeven, et al., Journal of Synchrotron Radiation 27.5 (2020): 1307-1319.
tV9LD>3
[|~2X> 分析设计椭圆反射镜(1) }@+NN
?P &wU'p-V
'<R>E:5 )XfzLF7 分析设计椭圆反射镜(2) n9;;x%6 .I
YUf1N?z `+#G+Vu5 分析设计椭圆反射镜(3) nr)c!8
"Pl9 nE O'GG Ti]e 焦平面上的能量密度和电场 \]9.zlB
)>7%pz azP+GM=i7 软件界面