案例024(3.0)
'*&V7: ALInJ{X 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
}y(cv}8Y zt!> 1. 建模任务1:金属光栅 h*Mi/\ +OSSgY$ pk;S"cnk 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
Go]y{9+(7 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
l6MBnvi C&EA@U5X^ 2. 建模任务2:介质光栅 n#4T o;CS ye}86{l 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
4Y
G\<Zf 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
7(o:J 0/%RrE 3. 建模任务 1n.F`%YG FysIN~ 7MKZ*f@x;
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
6]HMhv 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
"0z4mQ}>N 场分布计算能够检测结构内部的热点
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y X@A8~kj1 4. TE和TM照明线性光栅 e%7#e%1s iUqD>OV 5. 铬狭缝的分析 T7Ju7_q} :#N]s 01]W@\( 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
1@~ 1vsJ 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
I-Hg6WtB 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
#nj;F'O]( 红线说明了结构的形状(手动添加)
4:s,e<Tc4v ZlcEeG 6. 三角光栅的分析 :/>Zky8,k 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
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2';{o=TXV $$B#S' 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
yRp&pUtb 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
TeJ=QpGW2 红线说明了结构的形状(手动添加)。
j5~~% 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
p@@*F+ _@_EQ!= 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
h=kC3ot\ |#(y?! A^ 7. 总结 t7e7q"+/ uj)fah?Wg VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
oC3W_vH.% 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
u})8) 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
,OMdLXr 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。