测量系统(MSY.0001 v1.1)
}j(2Dl
2ZG1n# 应用示例简述 1H4Zgh
U C{hcK 1-K 1. 系统说明 sK%Hx` ^_KD&%M6
光源 l \^nC2 — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
7Fi2^DlgX 元件
zYG,x*IH — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
IbJ[Og^Qyu 探测器
!UMo4}Y — 干涉条纹
yLz,V} 建模/设计
K>cz63}S —
光线追迹:初始系统概览
x:?a;m uf — 几何场追迹加(GFT+):
#xP!!.DF( 计算干涉条纹。
MFH"$t+ 分析对齐误差的影响。
|[37:m q|u8CX 2. 系统说明 TwuX-b 参考光路 ~`\9Q 
RzzFhU#r _rMT{q3 3. 建模/设计结果 )jk1S
Sc'c$/ (eRKR2% q 4. 总结 PyMVTP4 0Ox|^V 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
$,;S\JmWP P YF.#@":& 1. 仿真
Aa`MK$29F 以光线追迹对干涉仪的仿真。
wt}%2x} x 2. 计算
q qe2,X? 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
N2tkCkl^x9 3. 研究
c3V]'~ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
$Pd|6 G*(K UG> 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
^S#\O>GHP 应用示例详细内容 W{A
#]r l
系统参数 *^D@l%av;
b4v(k(< 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 x[vBK8 7!r#(>I6?1 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
Q=(@K4 sOl>5:D6 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
v]:+`dV DikdC5>O>m 2. 说明:光源 \TbsoWX }Kj Ju; .kc"E 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
T A\4uy6o 因此,相干长度大于1m
_~;&)cn,0 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
2$
|]Vj*Zs 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
j2} zJ;>.0
V06CCy8n :xFu_%7 3. 说明:光源 }!%JYG^!D S9G+#[.| Tm)GC_ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
GIm
" )}W 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
(#6AKr9K 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
sno`=+|U] 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
](W5.a,-$L 4. 说明:光学元件 wjTNO0hj +VCo$o , 3X: ) 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
jzs.+dAg 位相延迟平板材料为N-BK7。
NunV8atn: 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
>Mvka;T] 透镜材料为N-BK7。
w66v\x~ 其中心厚度与位相平板厚度相等。
S&4+ e:K Kt
W6AZJ MpOR Gd 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 mC i[Ps i:o}!RZ> Al7<s 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
mZ~ qG5@/F 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
(CdJ;-@D d^F|lc ]8 Hm %g_Mt
xvU]jl6d [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
XTJvV 6. 分光器的设置 Hjs} 0YzsA#yv 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
ao#!7F 7. 合束器的设置 XZS5B~E
' XrF3kz!44 ^=EjadVQ 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
+TC1nkX 8-7dokg> 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 }e<'BIME x#VyQ[ok 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
b~7Jh:%@; 应用示例详细内容 kt^yj"C>
仿真&结果 CRFCqmevR
h#i\iK&A 1. 结果:利用光线追迹分析 !(Krf 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
7K&}C;+ 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
V vu(`9u] 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 No)
m/17y nH@(Y&S Ia2(Km 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
6v to++ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
@mf({Q> 3. 对准误差的影响:元件倾斜 17}$=#SX hd
B
|#t 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
AoYaVlKG8 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
+$47v$p 4. 对准误差的影响:元件平移 "PMQyzl 元件移动影响的研究,如球面透镜。
fN-Gk(Ic 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
38~PWKt
Yd:Q`#7A MIq"Wy|Zs 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
$r\"6e )6{<
i5nJ\ 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
Z!6UW:&~7 kneuV8+(5 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
$X\va?( ]H ~Y7\N-v 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
ju|]Qlek 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
W|MWXs5'1* X\Y}oa."A 扩展阅读 i|]7(z#OyI 1. 扩展阅读
5t\HJ`C1Z 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
#)s!}X^ 开始视频-
光路图介绍 Z) Wnow -
参数运行介绍-
参数优化介绍 5RF4]$zT 其他测量系统示例:
2Il8f -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)