测量系统(MSY.0001 v1.1)
hTM[8 ~<^ q~59F@ 应用示例简述 3 HIz9F( c=
x,ijY
" 1. 系统说明 3`#6ACF jC3Vbm&ZZ
光源 ~\cO"(y5:O — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
g(Io/hyj 元件
W0C@9&pn6 — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
Ik[s 探测器
Ht-t1q — 干涉条纹
Qq@G\eRo 建模/设计
d~?X/sJ t —
光线追迹:初始系统概览
vNeCpf — 几何场追迹加(GFT+):
W?We6.%
计算干涉条纹。
cwuO[^S} 分析对齐误差的影响。
a3VM' 3VUWX5K? 2. 系统说明 #CnHf 参考光路 AxZD-|. 
#!9S}b$ &tZG
@ 3. 建模/设计结果 oP2fX_v1x
] )"u+ -\y-qHgb/ 4. 总结 R@*O!bD ; h`0ir4[A 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
R.s^o]vT 2~*Ez!.3 1. 仿真
k` {@pt. 以光线追迹对干涉仪的仿真。
S8l1"/?aHE 2. 计算
AWjm~D-? 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
N,J9Wu ZJ\ 3. 研究
.p ls! 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
?hR7<02 p:OPw D+ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
K YkS9_yF 应用示例详细内容 `s]4AKBO
系统参数 y?)}8T^
$v`afd y 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 teW6;O_ z**hD2R! 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
S/`%Q2za4 {i*2R^5 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
Otz E:qe /R
LI,.% 2. 说明:光源 |T4kqW{ tj*y)28- `$604+G 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
&(a(W22O 因此,相干长度大于1m
TS"D]Txs 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
;D.h65rr 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
%Td )0Lqp 3:5DL!Sm8J
`Ci4YDaz;k /_\#zC[ 3. 说明:光源 >|o_wO !>(RK"KWq] SMf+qiM-E 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
vZ#!uU^a: 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
,SScf98,j 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
+y#T?!jQYj 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
@cq`:_.[ 4. 说明:光学元件 9]>iSG^H 46h@j>/K AY SSa 1} 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
3I|3wQ ( 位相延迟平板材料为N-BK7。
k]rLjcB 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
.A1\J@b 透镜材料为N-BK7。
J.RAmU < 其中心厚度与位相平板厚度相等。
jAND7&W a45ss7 gLL\F1|0x 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 [WB{T3j ?G08[aNR zQH]s?v 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
Sg]
J7;] 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
8V$3b?] ~SjZk| -Y:ROoFOZ
IC{F.2D [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
`!G7k 6. 分光器的设置 vtMJ@!MN; WA)Ij(M8 p 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
g6sjc,` 7. 合束器的设置 \m@Y WO?L l
SkEuN 4S
L_-Hm. 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
|z^pL1Z]5 (\dK4JJ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 L|^o71t| ~E=\t9r 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
3]n0 &MZAR 应用示例详细内容 \,sg)^w@
仿真&结果 0]x;n+G[q
>Jm"2U}lZW 1. 结果:利用光线追迹分析 TRKgBK$, 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
'5};M)w 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
>WM3| 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 `ycU-m== 5@XV6 *(*+`qZL{( 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
\~X&o% y 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
135vZ:S 3. 对准误差的影响:元件倾斜 j[P8
o A~4p( 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
dALK0U 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
9.0WKcwg 4. 对准误差的影响:元件平移 B50 [O! 元件移动影响的研究,如球面透镜。
el'j&I 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
xaL#MIR"u"
wq4nMY:# 7aQcP 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
p\U*;'hv >;i\v7 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
<4zT;:NQ (L|}` 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
d.pp3D9/ *\LyNL( 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
JfTfAq] 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
=w<VT% ;aK.%-s-Z 扩展阅读 VjTe4$ * 1. 扩展阅读
abZdGnc 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
Ko}2%4on 开始视频-
光路图介绍 u3Do~RyL[ -
参数运行介绍-
参数优化介绍 yL"i
其他测量系统示例:
j??tmo -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)