测量系统(MSY.0001 v1.1)
}FoO P-c<[DSM'I 应用示例简述 gkN
)`/`* _Bhm\|t 1. 系统说明 5v@-.p |rg4j
光源 y8QJ=v* B — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
Z 71.* 元件
Q+]9Glz9 — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
I||4.YT 探测器
bRzw.(k0`r — 干涉条纹
f.cQp&&]r 建模/设计
@<W^/D1#L —
光线追迹:初始系统概览
!<P|:Oo*Dl — 几何场追迹加(GFT+):
E")g1xGaK 计算干涉条纹。
'YaD="" 分析对齐误差的影响。
k_}aiHdG ca{u"n 2. 系统说明 ^Td_B03) 参考光路 78[5@U 
B}YpIb]d |{G GATni 3. 建模/设计结果 D^~G(m;-
ZSo#vQ ;[~:Y[N 4. 总结 #& 5} S`qa_yI)Ed 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
ueM[&:g&MU />,Tq!i\4} 1. 仿真
+g6t)Gl 以光线追迹对干涉仪的仿真。
X\a*q]"_ 2. 计算
X>`5YdT~+ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
c>(`X@KL 3. 研究
^bjaa 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
q0l=S+0 f;w7YO+$p9 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
>P/Nb]C 应用示例详细内容 WLe9m02r
系统参数 pDg_^|
]$VYzE2e 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 \~#$$Q-qtU U0Y;*_>4 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
DG!H8^
! 9U 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
RrPo89o 3i c6!T#t" 2. 说明:光源 8a;I,DK=j #`>46T ^^-uq)A 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
"&,Gn#'FG 因此,相干长度大于1m
d
Xiv8B1 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
7K|:
7e( 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
wLDWD,"K 79?%g=#=
)TmqE<[ <r{M(yZ?@ 3. 说明:光源 D_HE!fl FccT@,.F :RH0.5) 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
"XU
M$:D 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
ZDI%?.U 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
;0R>D g 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
@"\j]ZEnY 4. 说明:光学元件 |Mm9QF;iA QX'EMyK$ huu v`$~y 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
i09w(k? 位相延迟平板材料为N-BK7。
b~1]}9TJ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
G9/5KW}- 透镜材料为N-BK7。
!w!}`|q 其中心厚度与位相平板厚度相等。
U8T"ABvFP KVvzVQ1 _msV3JBr 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 #DN5S#Ic %SwN/rna P?y3YxS 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
T JB)]d< 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
O%g%*9 9'qU4I }|k_sx:
0{8^)apII [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
r@2{>j8 6. 分光器的设置 5i+0GN3nd 6%p$C
oR 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
|HjoaN ) 7. 合束器的设置 <*g!R! C/JeD-JG jAa{;p"jU 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
_::q
S! Y=%SK8]Q; 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 D*>EWlZ PJ=N.xf} 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
uG|d7LS,% 应用示例详细内容 v{N4*P.0T
仿真&结果 %<g(EKl
"!9hcv-; 1. 结果:利用光线追迹分析 GJUorj& 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
WMo 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
woH B![Q, 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 xm)s%"6n X`[P11` ndSM*Fq 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
|M*jo<C 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
%{fa
.>6 3. 对准误差的影响:元件倾斜 MWsjkI` `m~x*)L# 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
GTj=R$%09 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
5}4f[ 4. 对准误差的影响:元件平移 LP{{PT.&X 元件移动影响的研究,如球面透镜。
'`-W!g[
> 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
NZJ:@J=-
j.3#rxq fZ9EE3 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
gaK m`# YL )epi^ 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
KjrUTG0oA A9*( O) 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
W\'njN DcNQ2Zz?% 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
&C~R* 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
cTA8F"UGD dQ6n[$Q@N 扩展阅读 e}x}Fj</( 1. 扩展阅读
(xp<@- 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
xiu?BP?V 开始视频-
光路图介绍 >m}U|#;W -
参数运行介绍-
参数优化介绍 Yy 4EM 其他测量系统示例:
*]ROUk@K= -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)