激光扫描系统(LSC.0001 v1.0)
>TB Rp,;r 使用非球面
透镜对激光扫描系统进行性能分析
Mxk0XFA ZDt|g^ 应用案例概述 VMgO1-F ~Lf>/w 系统细节 Hsvu&>[`S (5R_q.Wu 光源
v+qHH8 - 绿光二极管
$zYo~5M?i- 元件
rIo)'L$uU - 双轴振镜扫描仪
3*;S%1C^ - 非球面透镜
iIO_d4Z 探测器
ra>jVE0` - 场曲和畸变
!K5D:x - 光束强度剖面
gaa;PX - 焦点区域探测器
GjGt'
m* - 光束
参数 mCQn '{) 模拟/设计
5"o)^8!> -
光线追迹:分析场曲和畸变,场追迹引擎的探测器的定位
2nA/{W\ hC - 场追迹:考虑衍射效应,进行更精确的光束尺寸和剖面的研究
hB 36o9|9 JtGBNz!" 系统说明 tG}cmK~% >+E
aK4ZH}XHE" NAt; r 激光扫描系统的性能评估 O0cKmh6= [|E|(@J 一个激光扫描系统的扫描
光学部分包含了一个扫描仪单元和一个非球面透镜,在一维扫描过程中(沿入射角Theta),通过分析光束的场曲和畸变来评估其性能。
g_2EH 此外,计算了不同扫描位置处的光束尺寸和轮廓。
|*[#Iii' 1KWGQJ%%s |T;NoWO+ 模拟设计结果 'H.,S_v1x l
d@ B "5@k\?x" VirtualLab Fusion的其他特征 V-.Nc# R7j'XU 在本例中,您受益于以下选择的特征:
IolKe:'>@ 各种探测器
|(6H)S]$ - 使用场曲和畸变探测器(Field Curvature and Distortion Detector)中的找到焦点位置工具(Find Focus Position Tool)来测量焦点和光束位置
QH.zsqf( - 使用焦点区域探测器计算焦点区域中的场
+(qs{07A$ 参数耦合
,8/Con|o - 调整与理想输入扫描光学扫描角θ镜子的方向有关
u~VvGLFf5, 参数运行
g?=|kp - 生成场曲和畸变图
qp)a`'Pq 3El5g0'G 总结 e~iPN.'1 VirtualLab可以
R}VEq gq 模拟使用双轴扫描镜和特定的光学扫描的激光扫描系统
ji:E 分析目标平面上的光束偏转
9Vh> ty1|_ - 通过光线追迹来计算场曲和畸变
yRGv {G[59 - 通过几何场追迹来计算光束剖面
@}B,l.Tj - 场追迹可以更准确地分析光束焦点
EXD Qr'" Y,;$RV@g
]f<H? )Fw{|7@N 应用案例详述 R;2q=% 系统参数
hfQx$cv6 >t Ll|O+ 应用案例内容 6}xFE]Df-Y LSC.0001和LSC.0002为激光扫描系统。
$Z!7@_Ys 在这个例子中,分析了作为扫描透镜的非球面透镜的场曲和畸变,以来模拟一个扫描过程。
_(.,<R5 在LSC.0002中,演示了通过使用F-Theta物镜来提高性能。
NP_b~e6O= &hri4p/
=i:6&Y~VGq O!=ae| &Y/Myh[P 模拟任务 &9:"X 1p |}=R
|wYOO(! 为了评估激光扫描系统的性能,在一维扫描过程中沿着入射角θ探测场曲和畸变。
]pi8%.d Z+ ?V10$ 3$Y(swc 规格:输入激光光束 f+o%N }jWZqIqj 激光组件中的单模二极管
激光器 mx:) &1 ~Vf+@_G8`
P.Uz[_&l6 = ^OXP+o 规格:双轴振镜扫描仪 eYD|`)-f<^ Pm*N!:u K9 tuiD+j
\vR&-+8dk Y::I_6[eV 规格:非球面透镜 PpF"n[j eGi[LJ)np 从Asphericon目录中选择一个凸平面(convex-plano)非球面透镜作为激光扫描系统的扫描光学透镜。
t:?8I9d bw\a\/Dw
},@1i<Bb NrrnG]#p1 原始透镜(目录和网址) +zz\* vUa&9Y VirtualLab“LightTrans定义”的元件目录包含例如Asphericon公司的透镜。
/v^1/i 此外,在他们网站上Asphericon还提供了VirtualLab文件。
Rl2*oOVz $%ts#56*
Vs0T*4C=n j>KJgSs]&\ 应用案例详情 ?k7z5ow ZI8*PX%2 模拟和结果
.7"]/9oB SK@%r 双轴扫描反射镜的位置 cGVIO"(VP
vg6'^5S7
L9Gxqw yK #9)W- 双轴镜子同样由两个分离的镜子组成。
NWt `X! 第一镜将目标光束偏转到x方向,而光束沿第二个镜子的旋转轴偏转。
nn0`A3 第二反射镜将目标光束偏转到y方向。
et$VR: b?~%u+'3 设置扫描镜
?k*%r;e> 'p{N5eM
+oT/ v3, ? !dy 扫描镜X沿y轴旋转,使用基础方位角进行旋转,与光轴之间的角度为45°(见左图)。
? V0!N; 扫描镜Y的调整是相当于绕x轴的旋转(见右图)。
G; *jL4 请注意,在VirtualLab中坐标系统是根据反射定律来旋转的,光轴是沿方向z ⃑来定义的。
PDEeb.(. 两个镜子的基础方位角定义了激光扫描仪的中心位置。
jBO/1h= 使用镜子的绝对方位角,相对于固定的中心位置(光轴),光束在x方向和y方向上偏离。
yG`J3++
S 2qF
?% 轴上的3D光线追迹分析 S-$N! G~! (pl|RmmDz
/2n-q_ $z>L $,c> 不同Theta角的光线追迹说明 5ZX P$.
VT;Vm3\
nSM8o<)H k\qF> = 在光学扫描系统前定义输入扫描角Theta。
*&d>Vk."] M'n2 j 通过参数耦合进行系统调整 4zRz U ~'[0-_]=f 对于一维扫描过程,使用参数耦合工具。
xxsax/h ds*N1[
* 扫描镜Y的绝对方位角是自动设置为期望输入扫描角。
#'@pL0dj tLz,t&h
R@+%~"Z l.
9
i ` :?*|D p1 1. 用户输入扫描透镜期望的输入扫描角度2. 系统参数
Ju"*;/ 3. 输入变量4. 源代码编辑器(脚本定义)
!m*
YPY31 1TagQ 离轴25º的3D光线追迹分析 "
aEk#W
Y M<8>d
=nQgS.D
$E j;CN59
N}j]S{j}' su/!<y 场曲和畸变探测器 jc4#k+sb mO6rj=L^ 通过寻找焦点位置工具(Find Focus Position Tool),场曲和畸变探测器可以测量3D焦点位置,且光束位置依赖于在扫描光学之前的球形输入角θ的在屏幕上的测量光束位置。
/{[Y l[{"< 因此,必须通过参数耦合工具给探测器提供θ的输入角。
e#+u8 LrN 7<T1#~w4L
Ly7|:IbC )tq&l>0h 执行扫描过程 ,u:J"epM 对于扫描过程角度θ,通过参数耦合工具来设置扫描镜,沿着y轴从1°到25°扫描,步长为1°。
~6)A/]6 只有沿着y轴扫描,弧矢焦点由x方向的光斑尺寸决定,子午焦点由y方向的光斑尺寸决定(后面将会介绍弧矢和子午平面)。
nD8 Qeem@ 从参数运行文档,可以绘制场曲图和畸变图。
*v' d1.Z 使用一维数值数据阵列多重图表模式将子午(1)和弧矢(2)场曲和畸变数据结合在一起。
kgq"b) pn:) Rq0
]WsQ= |8bqn^@$t 场曲 z^ai * s#8mD!T| 通过光线束的焦点到探测器的间隔∆z,沿z轴来测量场曲 。
&y7<h>z 因此,在两个分离的平面,焦点是通过(RMS spot radii)均方根半径确定:子午和弧矢平面。其如下图的一个
成像光学系统所示,类似于激光系统。
b-d{)-G{( 对于一个平面成像面,这是测量离轴光束的离焦的一个标准。完美的图像应位于曲面而不是一个平面。对于一个激光扫描系统,这一点是必须考虑的。
o*[n[\cR [{i"Au]
a'[Ah2}3r< <Va7XX%> 场曲率 F1Jd-3ei rwJCVkF 下图在显示了子午面和弧矢面的场曲。
L[|($vQ" 从结果上看,沿z轴测量场曲率,弧矢场曲要小于子午场曲。
(mNNTMe 弧矢和子午面焦点的z偏离的多图视图
vky@L! &, m#i5}uHHg 畸变 Q.]$t
2J 畸变定义为光线束在探测器面上横向位置y到参考位置的偏差Distortion=(yBundle-yRef)/yRef,
Y#/mE!& 其中
z154lY}K yRef =EFL∙tan(Θ) 对于F-Tan(θ)畸变
Z}8khNCYr yRef =EEFL∙Θ 对于F-Theta畸变
*&=sL yBundle 探测器平面上光束质心或光束主光线的位置
^5MPK@)c,/ 使用扫描光学系统的有效焦距EFL可以计算探测器平面的位置,这主要取决于入射角。
\6{w#HsP8 D?Mj<||
l"{1v~I 17
k9h?s* 畸变 j$<sq 畸变是输入扫描角到偏转光束的理想探测器位置的线性测量,因此,畸变是探测器平面上光束位置像差的一个影响条件。
SU,#:s( 线性依赖关系可能是tan(Θ)或者在F-Theta物镜中是Θ(LSC.0002)。
*NC9S,eSP 很明显,相比于F-Tan(θ)特性,非球面透镜能够更好的校正F-Theta。这是由于相比于球面透镜,非球面透镜进行部分像差校正。
1(q&(p eTeZ^G
ep$C
nBwE LA837P 分析轴上的光束剖面 Az`c ?
W% ]T?Py) 入射角到非球面透镜是0°。
y[C++Q 为了更准确的评估焦点光斑,使用几何场追迹(Geometric Field Tracing )和焦区域探测器(Focal Region Detector)分析光束剖面。
Asy&X 因此,与光线追迹的结果相比,由于场追迹可以直接评价光束剖面,包括能量分布和光束发散角。,因此产生的焦点光斑在位置和尺寸方面都不同,
]gw[
~ At0ahy+
\[>Ob wm'a)B?
-lb,0 \~r`2p-K 分析离轴的光束剖面 mw\
z' d
:a*;F 在一般情况下,与轴上场相比,离轴场中心方向上有所不同。
^%qe&Pe2 因此,如果探测器(1)正交于光轴的话,线性相位的叠加依赖于中心方向。
|#Gug(' 通过倾斜探测器(2)以避免线性相位,根据场的中心方向,可由主光线的方向决定。
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