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光学测量 > 干涉测量 %.m+6
zaF Gl@{y ( 任务/系统说明 %vv`Vx2
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RE8|%p;B 亮点 R_O=WmD
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rlaeqG •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； -p>~z ) •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； pI:,Lt1B
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R\LC6kM 具体要求：光源 Cs _& BSs ?!K6")SE  R 8cOb*D 2E?!Q I\O 具体要求：用于准直的消色差透镜 cGiL9|k *i}X(s fe D#G%WT/"  FieDESsX> S3:AitGJ x9,jX d  3 3|t5Ia 0'Si
^>bW 具体要求：分束器 =#/Kg_RKL <)p.GAZ  'L7qf' R V
59O-"Sc[ 具体要求：参考光路反射镜 puJB&u"4L Z;%uDlcXI  O 5:bdt .
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bx(@ fl:m 具体要求：测试光路反射镜 m/1FVC@* G0{Z@Cv O'  qx'0(q2Ii(
yo=L1; H 具体要求：探测器 P+0'^:J SfnQW}RGI  )-26(aNGT cf88Fd6l/ 结果：3D光线追迹 HJ]xZ83pC |ZL?P qki  ~x^y5[5{ bA PMD 结果：场追迹 0k5 -S~_\ _"ciHYHBQ
 R kE)2q[5
3l~+VB R_ 结果：移动样品的场追迹结果 Xj
1Oxm 42 st;iGg  hhze5_$_ 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 kU[hB1D5
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