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光学测量 > 干涉测量 4$0jz' M3D xapG 任务/系统说明 1 ;_{US5FR
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e#l*/G*, •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； Z-N-9E •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； V pug"aR&_
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`.% 具体要求：光源 UI|v/(_^F 2uvQf&,  z1Bj_u{ Gl?P.BCW.& 具体要求：用于准直的消色差透镜 PWf{aHsr ^t m++ l(h;e&9x  1_Dn? G^H .yctE:n 5uQv  t 3(%UB m&Y; /kr 具体要求：分束器 pr0@sri@ pRQ fx^ On  JVJ1Ay/be
|@ o]X?^ 具体要求：参考光路反射镜 &[?u1qQ%o L Q I: ]d  1R5\GKF6o
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,Az`6PW 具体要求：测试光路反射镜 :GwSs'$ O ,<uiitOo  ^7ea6G"
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-1sJ 具体要求：探测器 G+#| )V ]YisZE4s  ooLnJ Y# AiyvHt 结果：3D光线追迹 cXLV"d f_re"d 3u  VgFF+Eg X/`#5<x 结果：场追迹 `_ J^g&y~ y~]I Vl"
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G*vpf~q? 结果：移动样品的场追迹结果 AhbT/ 0p:ClM 2O
 *f0.= ? 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 c:h.J4mv
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