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光学测量 > 干涉测量 7V} ]C>G jJUGZVM6) 任务/系统说明 !{Q :(B#ec
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R VkU+7 亮点 *qP dZ
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n5v' •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； I7fb}j`/ •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； K$G RJ
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")BT 具体要求：光源 3I"NI.>* c~^CKgr~R9  5{13 V*< D0 /DI 具体要求：用于准直的消色差透镜 .hX0c"f]b #ya \Jdx E dn[cH7  T- |9o|~z jg
[H} `Kp FH.k.K  ]*N:;J SyK 9Is{8 具体要求：分束器 {~bIA!kAFI y?pD(u  J 7BFk
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BXg!zW%+ 具体要求：参考光路反射镜 G'f9N^w "l@A[@R  / !3ZW XY\
Y?yo\(Cdx
 p%q.*trUb9
T><{ze 具体要求：测试光路反射镜 v6s\Z\v)Q` d2rL 8jW  &<,SV^w ag
nPcS3!7B# 具体要求：探测器 . yZm^& [X,A'Q  QyPg
|#T2> ^P`NMSw 结果：3D光线追迹 ?Z q_9T 7 vUNisVA  A1^Ga5 B> 'p%= <0vrr 结果：场追迹 d%0+i/p Dv&>*0B
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x# VyQ[ok 结果：移动样品的场追迹结果 UVB/vqGg )^4hQ3BS  bpCNho$ 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 ) k YOHS
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