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光学测量 > 干涉测量 ; ^Y]nsd SFRQpQ06 任务/系统说明 1X$hwkof
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p.J+~s4G 亮点 -)2sR>`A%
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H<bK9k)E •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； gjnTG:}}}+ •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； tW#=St0<.o
?Pw( 具体要求：光源 bcCCvV}6WZ e-.s63hm  Lm }J& ^> +~ L26T\8 具体要求：用于准直的消色差透镜 9X6l`bo' ,@]rvI6 x l{b*YUsz>  lqe71](sK8 t)hAD_sf @g~hYc  IU*w 'a K)d]3V! 具体要求：分束器 DRUvQf TaN]{k  Y']D_\y
Z(= U ZI? 具体要求：参考光路反射镜 RN"O/b}qQ 4`Z8EV  y Ddi+
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Xzp!X({ 具体要求：测试光路反射镜 I/
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ILQB%0! 具体要求：探测器 |{G GATni j~a"z4 0  ZSo#vQ ;[~:Y[N 结果：3D光线追迹 #& 5} R^*h|7)E  ueM[&:g&MU :J{| /"== 结果：场追迹 Mx<? c XA*sBf
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_CDl9pP36# 结果：移动样品的场追迹结果 v>&sb3I +9[/> JM 
=]auP{AlE 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 J"&jR7-9
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