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光学测量 > 干涉测量 HG/p$L* eMK+X \ 任务/系统说明 ># +IaKL7
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J H.K.C( 亮点 4LI0SwD#^/
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G; gJNK"e •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； ctQbp~- •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； wLuv6\E
XwM611 具体要求：光源 elJ)4Em iq?#rb P#I  o6"*4P| .AV)'j#6P 具体要求：用于准直的消色差透镜 0ZA j=u@O `,wu}F85 ') +0nPV  Z.Rb~n& X7UBopm& g . %  QzGV.Mt2 tXF]t
具体要求：分束器 E_ $z`or 4{9d#[KW  4dH}g~[P9
[n,?WwC 具体要求：参考光路反射镜 NTs;FX~g[ 8U~.\`H-PT  9T2xU3UyY
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Bp AB5=M0 具体要求：测试光路反射镜 B\j~)vg vnX  Bt^K]F\
"u}9@}* 具体要求：探测器 f<[jwhCWV jigs6#  ~QG ?k !J>A,D"- 结果：3D光线追迹 Ru%|}sfd 1`r| op},  L3y5 a?G Uv?'m&_ 结果：场追迹 x49 !{} "#^MUQ!a
 aP~ga Sx
kL{;.WsB 结果：移动样品的场追迹结果 GA^mgm"O +Al>2 ~
 f~& a- 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 ;cP8 ?U
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