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光学测量 > 干涉测量 eEZZ0NNe; X 3(CY`HH[ 任务/系统说明 ~@%#eg =j^wa')
a?]~Sw"@ ()ZP=\L 亮点 eQ80Kf~ \o<&s{6L
|gwGCa+ ,c6c=di •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; ^<`uyY))Q •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; L5n /eg:Q ' )~G2Ys 具体要求:光源 `^'0__<M uXm}THI B]wfDUG $m[*)0/ 具体要求:用于准直的消色差透镜 @M=\u-jJ. ~^v*f Ur,{ZGm KF}_|~~T (Nn)_caVb @tVl8]y (AswV7aGe _[{oK G^u 具体要求:分束器 ey ?paT Np>0c-S ]~kgsI[E RWdx)qj{ 具体要求:参考光路反射镜 T&u25"QOf TSKR~3D# y;ymyy& a{+;&j[!
r`A|2(h5B 6bd{3@ 具体要求:测试光路反射镜 fk'DJf[M .Dt.7 G (Z#j^}G_l CQI\/oaO 具体要求:探测器 TQsTL2a TykY> cl
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_|"+Ze 结果:3D光线追迹 R/ 3#(5 mExJ--} pL`)^BJ gM_MK8py 结果:场追迹 0*50uK=5 yPT\9"/
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) wOr pp3I 结果:移动样品的场追迹结果 x4[
Fn3JL I^!c1S of0hJR 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。
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