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光学测量 > 干涉测量 Z1DF ) x=1Sbs w{ 任务/系统说明 *jy"g64j
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j<vU[J+gx~ 亮点 7"{CBbT
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PE+{<[n •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； uU 8L 93 •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； u$1^=
${7s"IX 具体要求：光源 /^ [K N *Xl0m(Q  jx];=IC3tt *zDL 5
9 具体要求：用于准直的消色差透镜 -k3WY&9, 6IL-S%EGK1 `?vI_>md'!  Q lhm:[ S)A;!}RK6 3;EBKGg|  V5d|Lpm ; 5!8LmZ0# 具体要求：分束器 S2
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nZkMyRk 具体要求：参考光路反射镜 .J9\Fr@ wafws*b%  /C[XC7^4'
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X#u< 3<P 具体要求：测试光路反射镜 )Z@hk]@?_[ q62U+o9G  g+u5u\k
jD_B&MQz 具体要求：探测器 Y/34~lhyl qnU$Pd  hKFB=U *(Us:*$W. 结果：3D光线追迹 qk\LfRbj 6)#%36 rP  _K|?;j#x0k ut9R] 01: 结果：场追迹 (:J
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m:5bb 3 结果：移动样品的场追迹结果 5lakP? '5SO3/{b  %{";RfSVX% 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 #'h(o/hz&&
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