芯物科技“超透镜及其制备方法”专利公布

国家知识产权局信息显示，上海芯物科技有限公司申请一项名为“超透镜及其制备方法”的专利，公开号 CN 118746867 A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本发明公开了一种超透镜及其制备方法，超透镜的制备方法，包括：S2、提供衬底；S4、在衬底的第一表面形成多个第一沟槽；S6、在第一沟槽内填充超透镜材料，以形成多个第一超透镜结构；S8、在衬底的第一表面依次形成第一牺牲层和第二牺牲层；S10、形成贯穿第二牺牲层的多个第二沟槽；S12、第二沟槽内填充超透镜材料，以形成多个第二超透镜结构；S14、在第二牺牲层表面形成支撑层。本发明的技术方案，避免采用晶圆键合、硅衬底去除等工艺从而降低了晶圆损耗且有利于简化工艺进而降低超透镜的成本；同时，降低了超透镜的厚度，有利于超透镜的小型化。

图片:CN118746867A_2024110620818_1.png