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uYs45 G 内容简介 5);"()g32 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 bh8GP]*E| 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 P2ySjgd 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 9mtndTT 5u <^;~8:0] 讯技科技股份有限公司 mgjcA5z
L=#B>Eu 目录 L8.A| Preface 1 D`41\#ti 内容简介 2 z I9jxwXU 目录 i nO`[C=| 1 引言 1 }duqX R 2 光学薄膜基础 2 ^`xS|Sq1D 2.1 一般规则 2 x^[0UA]S9 2.2 正交入射规则 3 |a[ "
^
2 2.3 斜入射规则 6 vbd
;Je" 2.4 精确计算 7 D{8B;+ 2.5 相干性 8 .yTo)t 2.6 参考文献 10 ,%/F,O+# 3 Essential Macleod的快速预览 10 yAGQD[ih 4 Essential Macleod的特点 32 E}w5.1 4.1 容量和局限性 33 yWc%z6dXC 4.2 程序在哪里? 33 }<2|6 { 4.3 数据文件 35 K7x;/O 4.4 设计规则 35 zBI2cB8;P 4.5 材料数据库和资料库 37 1A;,"8kBd 4.5.1材料损失 38 8=f+`e 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Xq"9TYf$ 4.5.2 材料库 41 Y._ACQG3 4.5.3导出材料数据 43 Vd.XZ*}r* 4.6 常用单位 43 5't9/8i 4.7 插值和外推法 46 9nO&d(r g 4.8 材料数据的平滑 50 wuCZz{c7 4.9 更多光学常数模型 54 !f!YMpN 4.10 文档的一般编辑规则 55 &j'k9C2p 4.11 撤销和重做 56 ~tNk\Kkv 4.12 设计文档 57 #EKnjh=Uq 4.10.1 公式 58 @/01MBs; 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 bjj
F{T 4.10.3 沉积密度 59 4,)QV_? 4.10.4 平行和楔形介质 60 kotKKs 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 _wg~5'w8 4.10.4 性能 61 D@{m 4.10.5 保存设计和性能 64 lzFg(Ds!f 4.10.6 默认设计 64 Ak`?,*LM 4.11 图表 64 UK8k`;^KI 4.11.1 合并曲线图 67 GXv2B%i8 4.11.2 自适应绘制 68 &8%^o9sH 4.11.3 动态绘图 68 i7\>uni 4.11.4 3D绘图 69 +K=RM qM-8 4.12 导入和导出 73 3!?QQT,!) 4.12.1 剪贴板 73 #N=_- 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 oe9S$C;$' 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 z&qOu8Jh 4.13 背景 77 H?ue!5R#L 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 )5<dmK@ 4.15 生成Rugate 84 f .h$jyp( 4.16 参考文献 91 zZ<~yi3A9 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 *:l$ud 5.1 Jobs 92 (d
<pxx 5.2 创建一个新Job(工作) 93 z;0]T=g 5.3 输入材料 94 {qry2ZT5 5.4 设计数据文件夹 95 h^K>(x 5.5 默认设计 95 ]?jmRk^. 6 细化和合成 97 </fTn_{2s8 6.1 优化介绍 97 G<*h,'B 6.2 细化 (Refinement) 98 b]8\%=d 6.3 合成 (Synthesis) 100 ws]d,] 6.4 目标和评价函数 101 ybB<AkYc 6.4.1 目标输入 102 w'5W L 6.4.2 目标 103 127@
TN" 6.4.3 特殊的评价函数 104 7w0=i Z>K 6.5 层锁定和连接 104 4
>D5t)254 6.6 细化技术 104 2[Qzx%Vp 6.6.1 单纯形 105 z8};(I>) 6.6.1.1 单纯形参数 106 38JU-aq 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 l4^8$@;s 6.6.2.1 Optimac参数 108 52
DSKL 6.6.3 模拟退火算法 109 8wS9%+ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Ga* 6.6.4 共轭梯度 111 C|ou7g4'p 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Lr>4~1:` 6.6.5 拟牛顿法 112 KkHlMwv 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 o{|
|Ig 6.6.6 针合成 113 wi:d!,P`e 6.6.6.1 针合成参数 114 #|e5i9l*B 6.6.7 差分进化 114 qkyYt#4E 6.6.8非局部细化 115 'ka"0~:NS{ 6.6.8.1非局部细化参数 115 lU3Xd_v
O 6.7 我应该使用哪种技术? 116 VqB9^qJ]! 6.7.1 细化 116 gE!`9 #.. 6.7.2 合成 117 ?Vr~~v"fg8 6.8 参考文献 117 Fg^zz*e 7 导纳图及其他工具 118 "\1V^2kMr 7.1 简介 118 ~U4;YlQP 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 R2[
} 7.2.1 四分之一波长规则 119 tbi(e49S 7.2.2 导纳图 120 'seuO!5 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 [WunA,IuR 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 6HR*)*>z_ 7.5 斜入射导纳图 141 TGPHjSZ1 7.6 对称周期 141 &[}5yos
r 7.7 参考文献 142 ngaQa-8w 8 典型的镀膜实例 143 =~QC)y_ 8.1 单层抗反射薄膜 145 [6Nzz]yy 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Rv+p4RgA 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 n!XSB7d~X 8.4 W-膜层 148 |.U-
yyz 8.5 V-膜层 149 !yTjO 8.6 V-膜层高折射基底 150 v{>9&o.J 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 V=H}Ecd 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 l_*:StyR+ 8.9 四层抗反射薄膜 153 }A_>J7w 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 27jZ~Bp$ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 %^8>= 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Z{.L_]$I 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 D61e 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 z0&I>PG^ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 D D
Crvl 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 T]J#>LBd 8.17 1/4波长堆栈 162 &@xeWB 8.18 陷波滤波器 163 Hz<)a(r!J 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 S1n'r}z8 8.20 褶皱 165 [ w1" 8.21 消偏振分光器1 169 q\5C-f 8.22 消偏振分光器2 171 x?Oc<CQ-2 8.23 消偏振立体分光器 172 z'}?mE3i 8.24 消偏振截止滤光片 173 -`ykVHgg 8.25 立体偏振分束器1 174 ^l/$ 13= 8.26 立方偏振分束器2 177 ud.Bzg:/ 8.27 相位延迟器 178 Ti9cN)lq& 8.28 红外截止器 179 -x1O|q69 8.29 21层长波带通滤波器 180 gb0ZGnI 8.30 49层长波带通滤波器 181 &U/~*{ 8.31 55层短波带通滤波器 182 0H{0aQQ 8.32 47 红外截止器 183 ?`O Dt]s 8.33 宽带通滤波器 184 /L"&'~ 8.34 诱导透射滤波器 186 pBu~($%d 8.35 诱导透射滤波器2 188 8m"5J-uIi 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 DWH)<\? 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 #TSLgV'U 8.35 增益平坦滤波器 193 CSooJ1Ep~' 8.38 啁啾反射镜 1 196 &hYjQ&n 8.39 啁啾反射镜2 198 QcQ|,lA.HI 8.40 啁啾反射镜3 199 Q-N.23\1 8.41 带保护层的铝膜层 200 &_E*]Sj\ 8.42 增加铝反射率膜 201 DP_bB( 8.43 参考文献 202 jQ31u 9 多层膜 204 X_eV<]zA+ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Z;mDMvIu ( 9.2 内部透过率 204 h@D4~(r 9.3 内部透射率数据 205 ]H|1quT 9.4 实例 206 DEC,oX!bI1 9.5 实例2 210 I1H:h 9.6 圆锥和带宽计算 212 h(G(U_V-Od 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 l9.wMs*`X 10 光学薄膜的颜色 216 n1W}h@>8 10.1 导言 216 *lG$B@;rc| 10.2 色彩 216 !<2*B^
10.3 主波长和纯度 220 .9g\WH#qD| 10.4 色相和纯度 221 f i!wrvO 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 !J'xk 10.6 色差 226 /bylA`IMW 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 tI C_/
6 10.8 颜色渲染指数 234 i,,>@R 10.9 色差计算 235 uyG4zV\h* 10.10 参考文献 236 ;@d<* 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 +T^m 11.1 短脉冲 238 &/, BFx" 11.2 群速度 239 aV(*BE/@F 11.3 群速度色散 241 q#Qr@Jf 11.4 啁啾(chirped) 245 }%R6Su]y 11.5 光学薄膜—相变 245 CsR~qQ
5 11.6 群延迟和延迟色散 246 uj/le0 11.7 色度色散 246 ]3QQ"HLcp 11.8 色散补偿 249 *<#&ne8 11.9 空间光线偏移 256 %r! 11.10 参考文献 258 t@v>eb 12 公差与误差 260 &:jE+l 12.1 蒙特卡罗模型 260 ._tv$Gd@k 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 a4: PufS 12.2.1 误差工具 267 :WCUHQ+ 12.2.2 灵敏度工具 271 m9xu$z|e 12.2.2.1 独立灵敏度 271 9au)K!hN 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Qw5M\
12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 SqTm/ t 12.3 参考文献 276
6^: l 13 Runsheet 与Simulator 277 iQGoy@<R 13.1 原理介绍 277 ypd 13.2 截止滤光片设计 277 SKfv.9 14 光学常数提取 289 IB*%PMTF 14.1 介绍 289 Y9w=[[1 14.2 电介质薄膜 289
BW\R 14.3 n 和k 的提取工具 295 uV
6f~cQ 14.4 基底的参数提取 302 Z21XlbK 14.5 金属的参数提取 306 [bOy,^@4 14.6 不正确的模型 306 v*BA\& 14.7 参考文献 311 Q#g
s)2 15 反演工程 313 4GHIRH
C%[ 15.1 随机性和系统性 313 WAdl@){ 15.2 常见的系统性问题 314 MA-$aN_( 15.3 单层膜 314 $0W0+A$ 15.4 多层膜 314 P|(J]/ 15.5 含义 319 bo -Gh` 15.6 反演工程实例 319 $z,bA*j9 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 |XH3$;=*h 15.6.2 反演工程提取折射率 327 MK[spV 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 \qTn"1bQ 16.1 光学性质的热致偏移 329 -=sxbs.aA 16.2 应力工具 335 m9B3]H 16.3 均匀性误差 339 4*9Dh 16.3.1 圆锥工具 339 g<dCUIbcQ 16.3.2 波前问题 341 sw@2
?+ 16.4 参考文献 343 Dps{[3Y+ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 XWUTb\@ 17.1 引言 345 YI|Gpq 17.2 操作数 345 vaxg^n|v9 18 如何在Function中编写脚本 351 &S-& 'ZAY 18.1 简介 351 q}1$OsM 18.2 什么是脚本? 351 bT*4Qd4W 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 x> q3w# B 18.4 基础 352 %5KR}NXX6 18.4.1 Classes(类别) 352 [qI* ] 18.4.2 对象 352 7S7! 18.4.3 信息(Messages) 352 & T|-K\* 18.4.4 属性 352 pnG8c< 18.4.5 方法 353 -$kJERvy 18.4.6 变量声明 353 =Ffq =< 18.5 创建对象 354 X}=f{/\S 18.5.1 创建对象函数 355 0l6djN 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 cU6#^PFu 18.5.3 丢弃对象 356 [uY2 Nh 18.5.4 总结 356 #<e7 Y0 18.6 脚本中的表格 357 v}Nx*% 18.6.1 方法1 357 JS:lysu 18.6.2 方法2 357 H'`(|$:| 18.7 2D Plots in Scripts 358 H.mG0x`M"E 18.8 3D Plots in Scripts 359 a?MtY
EK2 18.9 注释 360 9M=K@a 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 mpivg 18.11 一个更高级的脚本 362 6K y;1$ 18.12 <esc>键 364 yy74>K 18.13 包含文件 365 3.H-G~ 18.14 脚本被优化调用 366 B<&_lG0s |