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8fQ~UcT$ 内容简介 6O/ L~Z*t Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 4b}p[9k 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 #s~ITG#H 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 KLe6V+ki* z_(l]Ern} 讯技科技股份有限公司 C 9%bD
TD\TVK3P 目录 i<S\x Preface 1 pKLcg"{[F 内容简介 2 ta&z lZt 目录 i UW":&`i 1 引言 1 (B` NnL$ 2 光学薄膜基础 2 VsA_x 2.1 一般规则 2 3~`\FuHHe 2.2 正交入射规则 3 +Vg(2Xt 2.3 斜入射规则 6 yi^X?E{WnX 2.4 精确计算 7 y6am(ugE 2.5 相干性 8 yMW3mx301j 2.6 参考文献 10 t_^cqEr 3 Essential Macleod的快速预览 10 Rs<S}oeLn 4 Essential Macleod的特点 32 q!&:y7O8 4.1 容量和局限性 33 gB#!g@ 4.2 程序在哪里? 33
G,A?yM'Vw 4.3 数据文件 35 e[k\VYj[ 4.4 设计规则 35 .NdsKhg
b 4.5 材料数据库和资料库 37 {X,-T& 4.5.1材料损失 38 a3A-N] ;f 4.5.1材料数据库和导入材料 39 8k{XUn 4.5.2 材料库 41 Q-,
4 4.5.3导出材料数据 43 '5$: #|- 4.6 常用单位 43 pe[huYE 4.7 插值和外推法 46 6+sz4 4.8 材料数据的平滑 50 V,ZRX}O 4.9 更多光学常数模型 54 pz2E+o 4.10 文档的一般编辑规则 55 s,-<P1}/ 4.11 撤销和重做 56 P3bRv^ 4.12 设计文档 57 Z+R-}< 4.10.1 公式 58 34k(:]56| 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
mC]Krnx 4.10.3 沉积密度 59 PJb/tKC 4.10.4 平行和楔形介质 60 |{MFo) 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 O0^Y1l 4.10.4 性能 61 H{P*d=9v 4.10.5 保存设计和性能 64 &}gH!5L m 4.10.6 默认设计 64 [HXd|,~_j- 4.11 图表 64 TbMlYf]It 4.11.1 合并曲线图 67 +L?;g pVE& 4.11.2 自适应绘制 68 &hpznIN 4.11.3 动态绘图 68 6wiuNGZb 4.11.4 3D绘图 69 2QHu8mFU 4.12 导入和导出 73 Md:*[]<~ 4.12.1 剪贴板 73 sC.cMZ e 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 _z^&zuO 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 @zR_[s 4.13 背景 77 `5t~
Vlp 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Rv*x'w
== 4.15 生成Rugate 84 R{4[. 4.16 参考文献 91 qzD 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 p<a~L~xH6 5.1 Jobs 92 Z_<Wr7D 5.2 创建一个新Job(工作) 93 GB>h8yXH 5.3 输入材料 94 Sr10ot&ox 5.4 设计数据文件夹 95 t I+]x]m+ 5.5 默认设计 95 #z}IW(u< 6 细化和合成 97 ({rescQB 6.1 优化介绍 97 ng2yZ @$ 6.2 细化 (Refinement) 98 _#U hXXD 6.3 合成 (Synthesis) 100 2\}6b4 6.4 目标和评价函数 101 M>Ws}Y 6.4.1 目标输入 102 \LS s@\$
g 6.4.2 目标 103 mpCKF=KL. 6.4.3 特殊的评价函数 104 P>6wr\9i[ 6.5 层锁定和连接 104 Q!Dr3x 6.6 细化技术 104 ~xZ)btf 6.6.1 单纯形 105 %cc<>Hi 6.6.1.1 单纯形参数 106 ctC!b{S"@ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 +fF4]WFP 6.6.2.1 Optimac参数 108 q|;+Wp? 6.6.3 模拟退火算法 109 D2Kh+~l 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ]s_BOt 6.6.4 共轭梯度 111 5#? HL 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 &
V/t0 6.6.5 拟牛顿法 112 ;#D:S6 L 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Vzrp9&loY 6.6.6 针合成 113 `WU"*HqW 6.6.6.1 针合成参数 114 b|h`v 6.6.7 差分进化 114 bDcWPwe 6.6.8非局部细化 115 FJ&?My,=J 6.6.8.1非局部细化参数 115 ErMA$UkJ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 c;7ekj 6.7.1 细化 116 wmS:*U2sc 6.7.2 合成 117 q(@hYp#O"3 6.8 参考文献 117 .7zdA IKW 7 导纳图及其他工具 118 QXT*O 7.1 简介 118 V@>s]]HMq# 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 *}i.,4+y 7.2.1 四分之一波长规则 119 *C(XGX\?- 7.2.2 导纳图 120 Q[F$6m%o 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 D(S^g+rd 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 b_0Xi 7.5 斜入射导纳图 141 @xtfm.} 7.6 对称周期 141 [318Q%W& 7.7 参考文献 142 ~4tu*\P 8 典型的镀膜实例 143 ;i&'va$ 8.1 单层抗反射薄膜 145 gTP0: 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 G&*2h2,] 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 hbdM}"&] 8.4 W-膜层 148 U,u\o@3A 8.5 V-膜层 149 D7x"P-ie 8.6 V-膜层高折射基底 150 Q|o~\h< 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 {*PB+WGe 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 -z4pI= 8.9 四层抗反射薄膜 153 rOy-6og 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 d1>Nn!m 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 2V#(1Hc! 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Ey;uaqt 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ] Vbv64M3 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 DPZG_{3D 8.15十五层宽带抗反射膜 159 i/UHDqZ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 `H6kC$^Ofx 8.17 1/4波长堆栈 162 E|d 8vt 8.18 陷波滤波器 163 Hi<5jl 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 paW7.~3
R 8.20 褶皱 165 e'z[JG= 8.21 消偏振分光器1 169 _6 |lw&o07 8.22 消偏振分光器2 171 (-(sBQ a+ 8.23 消偏振立体分光器 172 B@Q Ate7 8.24 消偏振截止滤光片 173 C_=WL( 8.25 立体偏振分束器1 174 ]MP6VT 8.26 立方偏振分束器2 177 7,2bR 8.27 相位延迟器 178 .pOTIRbA 8.28 红外截止器 179 _ZfJfd~ 8.29 21层长波带通滤波器 180 y++[:M 8.30 49层长波带通滤波器 181 Og`w ~!\ 8.31 55层短波带通滤波器 182 7x^P 74 8.32 47 红外截止器 183
um[nz 8.33 宽带通滤波器 184 N?h=Zl| 8.34 诱导透射滤波器 186 #yk
m 8.35 诱导透射滤波器2 188 TnqspS2;R 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 C<\|4ERp 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 'lym^^MjL+ 8.35 增益平坦滤波器 193 w#5^A(NR 8.38 啁啾反射镜 1 196 O&?i8XsB 8.39 啁啾反射镜2 198 {(#>%f+|C 8.40 啁啾反射镜3 199 q(J3fjY) 8.41 带保护层的铝膜层 200 8`*Wl;9u 8.42 增加铝反射率膜 201 --S2lN/:T 8.43 参考文献 202 A-&C.g 9 多层膜 204 c6;tbL 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 XOzd{ 9.2 内部透过率 204 pN"d~Z8 9.3 内部透射率数据 205 MGd 7Ont 9.4 实例 206 &JM|u ww?1 9.5 实例2 210 Wej 8YF@ 9.6 圆锥和带宽计算 212 ;k<g#She 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 sV+/JDl 10 光学薄膜的颜色 216 geL)v7t+# 10.1 导言 216 <8>gb!D G 10.2 色彩 216 R;gN^Yjk: 10.3 主波长和纯度 220 < 6[XE 10.4 色相和纯度 221 3EN?{T<yf 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ~1Q$FgLk 10.6 色差 226 lz1l1.f8 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 3eqnc),Z 10.8 颜色渲染指数 234 :;S]jNy}j) 10.9 色差计算 235 YT6<1-E# 10.10 参考文献 236 W|o LS 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Y=l91dxGI 11.1 短脉冲 238 [ 44d(P' 11.2 群速度 239 ika/ GG 11.3 群速度色散 241 jiMI&cl 11.4 啁啾(chirped) 245 WhsTKy&E 11.5 光学薄膜—相变 245 Lf|5miO 11.6 群延迟和延迟色散 246 z!quA7s<] 11.7 色度色散 246 `w1|(Sk$h 11.8 色散补偿 249 n0:Y*Op 11.9 空间光线偏移 256 F'DO46 11.10 参考文献 258 0!YB.=\{_q 12 公差与误差 260 j()<.h;' 12.1 蒙特卡罗模型 260 't:|>;Wx 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 9pD=E>4?# 12.2.1 误差工具 267 445}Yw5;9 12.2.2 灵敏度工具 271 FWv-_ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 &y/ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 4i>sOP3
B 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 x'OE},>i 12.3 参考文献 276 FOxMt;|M 13 Runsheet 与Simulator 277 L,L>cmpM 13.1 原理介绍 277 !fXw X3B 13.2 截止滤光片设计 277 )54;YK 14 光学常数提取 289 #;?j]npg] 14.1 介绍 289 ^fT|Wm< 14.2 电介质薄膜 289 w~A{]s{4 14.3 n 和k 的提取工具 295 mrR~[533j 14.4 基底的参数提取 302 Mvq5s +. 14.5 金属的参数提取 306 ^| L@f 14.6 不正确的模型 306 (5y+g?9d; 14.7 参考文献 311 *6oQW 15 反演工程 313 3A'vq2beM 15.1 随机性和系统性 313 | X/QSL 15.2 常见的系统性问题 314 D3s]49j) 15.3 单层膜 314 j_\nsM7 15.4 多层膜 314 _zq"<Q c 15.5 含义 319 #'N"<o[ 15.6 反演工程实例 319 1'wwwxe7 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 kXGJZ$ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 / E~)xgPM< 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 WZ@/' [ 16.1 光学性质的热致偏移 329 Fp52|w_ 16.2 应力工具 335 :feU 16.3 均匀性误差 339 Sq"O<FmI 16.3.1 圆锥工具 339 iq_y80g`8h 16.3.2 波前问题 341 RO(~c-fV 16.4 参考文献 343 B2\R#&X. 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 x9Veg4Z7 17.1 引言 345 RN(>37B3_ 17.2 操作数 345 I^>m-M. 18 如何在Function中编写脚本 351 ?-mDvW 18.1 简介 351 qP6Yn JWl 18.2 什么是脚本? 351 `NqX{26GV+ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Wy{xTLXk2 18.4 基础 352 tW4|\-E"s4 18.4.1 Classes(类别) 352 n]$50_@ 18.4.2 对象 352 acd8?>%[ 18.4.3 信息(Messages) 352 /[Oo*}Dc=F 18.4.4 属性 352 jiS|ara" 18.4.5 方法 353 am>X7 18.4.6 变量声明 353 *7.EL`8 18.5 创建对象 354 6( 1xU\x 18.5.1 创建对象函数 355 F/c7^ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 !Z+4FwF 18.5.3 丢弃对象 356 QJ{to% 18.5.4 总结 356 M>H4bU( 18.6 脚本中的表格 357 Q2[@yRY/z 18.6.1 方法1 357 )aY^k|I 18.6.2 方法2 357 LwDm(gG 18.7 2D Plots in Scripts 358 V\k?$} 18.8 3D Plots in Scripts 359 V_Owi5h 18.9 注释 360 ^zjQ(ca@"x 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 @Y2"=QVt 18.11 一个更高级的脚本 362 TE+d? 18.12 <esc>键 364 1o5DQ'~n 18.13 包含文件 365 1]eh0H 18.14 脚本被优化调用 366 Yv0;U Kd 18.15 脚本中的对话框 368 c-S_{~~ 18.15.1 介绍 368 f@@2@#
5B 18.15.2 消息框-MsgBox 368 F$ a?} } 18.15.3 输入框函数 370 AEx|<E0 18.15.4 自定义对话框 371 )3O0:]<H 18.15.5 对话框编辑器 371 s^nPSY! 18.15.6 控制对话框 377 ,>-Q# 18.15.7 更高级的对话框 380 C^Jf&a 18.16 Types语句 384 T*"15ppfk 18.17 打开文件 385 oS'M 18.18 Bags 387 w3j51v` 0' 18.13 进一步研究 388 |E+tQQr%' 19 vStack 389 W?W vT`
T{ 19.1 vStack基本原理 389 F^iv1b 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 >AcpJ|V 19.3 五棱镜 393 ~r~~0|= 19.4 光束距离 396 \<ohe w 19.5 误差 399 $)OUOv 19.6 二向分色棱镜 399 && |