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摘要 0/b3]{skK ne'Y {n(8% 对于背光系统、光内连器和近眼显示器等许多应用来说,将光高效地耦合到引导结构中是一个重要的问题。对于这种应用,倾斜光栅以能够高效地耦合单色光而闻名。在本例中,提出了利用严格傅里叶模态方法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅的优化方法。优化后的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了其对光栅的倾角偏差和圆角边缘的影响。 Znh)m XbW 1`PH
zFO#oW,D TM`6:5ONv 建模任务 Vg8c}>7 tD3v`Ke
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+Uf+` S1d{! ` 3 为了为倾斜光栅找到一组优化的参数,优化文档允许为目标值定义参数约束和权重值。更多信息请参见: pq<2:F:Kl 6^hCW`jG 参数优化文档的介绍 vo]$[Cp|4 P#ot$@1v 第一级次的参数优化 ZD`0(CkXb :P20g]( &s_)|K kZH IzU 结果——公差分析 WRfhxl +p_>fO
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