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摘要 &w_8E+YZ 1\TkI=N3 不同类型的波前像差对焦点上的特征有单独的影响。因此,能够详细研究这些影响是至关重要的,例如,评估成像系统的性能。在VirtualLab Fusion中,可以产生不同的波前像差,并方便地研究其对焦斑分布的影响。作为例子,我们选择了几个典型的像差(球面、彗差、像散、……),改变它们的数值,并计算相应的焦点分布。 @$b7
eu {s@&3i?ZiC 设计和建模任务 7x*L 1>[`' _Wp,
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#,jm3Mqj Q{hK+z`D 导入现有结构文件 ?:PF;\U kaZcYuT.9 +5ql`C 平面波 <95*z @ 波长(486,587,656)nm |$T?P*pI. 视场角(40°) * se),CP!s x方向线偏振光 FN0<iL *@
\LS!N Ze`ms96j{ 衍射透镜 <.|]%7 波前相位相应 yWYsN 真实衍射器件结构 J<L"D/ ]xJ2;{JWsO
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离焦 CfLPs)\ACm n%dh|j2u
Yu%ZwTvw e58tf3 球差 `?"[u"* H|N,nkhH}
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_%aJ/Y0Cy wtro'r3 三叶草像差 dBp)6ok#c _$qH\>se
GA)t!Xg^ 7gbu7"Qc VirtualLab Fusion 技术 (^Hpe5h& tsTCZ);(
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