一.概述 -`1L[-<d=/
自被世人提出并正式问世以来,激光已经走过了一百多年的历史,随着时间的推移,激光技术的不断成熟,激光的特性与电子、电脑以及光学材料等开始了深度融合,激光的应用领域也从最初的材料加工、科研与军事领域逐步拓展至通信、存储、医疗美容、仪表仪器、传感器等更加细分的市场。 4Tw1gas.
随着激光应用范围的日益增长,不同应用领域开始对激光的照明光斑形状、照明均匀度和出光波前等提出不同的特殊要求,如在聚酯纤维表面处理、印刷材料表面处理等领域中,要求激光照明光斑为均匀的矩形光斑;在光盘系统等光存储需要更高的聚焦能力来增大存储容量。然而,激光束光强一般呈高斯分布,中心光强极强,四周光强相对较弱,能量分布很不均匀,这一特性使得激光并不能直接应用,往往需要对激光进行一些加工来满足应用需求。 ?d`+vHK]>
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图一 激光光斑整形匀化 ^)]*10
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图二 高斯光束焊接(左)与平顶光束焊接(右) X{5 DPhB,
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二. 设计要求 `-`iS?
波长:0.6328um %l P
入射光束:圆型光斑,束腰半径0.1mm。 bM_(`]&*
出射光束:椭圆光斑,Y向束腰半径0.04mm,X向束腰半径0.02mm。 . T>}O0L"
结构紧凑,整形系统不超过50mm。 J]YN2{(x
准直出射。 2gI_*fG1
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将椭圆光斑整形成圆形光斑,考虑通过两个柱面镜,分别对X向与Y向光斑大小进行整形。柱面镜是X轴和Y轴半径不同的一种透镜,仅有一个方向是球面,因此透镜的形状为圆柱形或半圆柱形。柱面镜类似于球面镜,它们均使用曲面对光线进行发散和聚焦,但柱面镜仅在一个方向上具有光强度,并且不会影响垂直方向上的光线。因此如果需要对光源进行一维整形,柱面镜是不错的选择,整形系统设计如下: Qy,qQA/
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通过物方向导设置高斯光斑初始属性,因为光斑具有X、Y二维,需要在系统参数中更改追迹,将Y-Z平面追迹更改为Y-Z 与 X-Z 同时追迹。设置好的初始结构如下所示。 S;<?nz3
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初始镜头 Lj AIB(*
请联系工作人员获取 &H>dE]Hq,
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查看入射光斑是否符合设计的圆形光斑,在命令行窗口中输入 BEAM 与 XBEAM 分别查看Y向束腰半径与X向束腰半径。 { qx,X.5$
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在命令行中输入:DPROP P 0 0 1 GEOM 3 L RESAMPLE,查看光斑形状。 0'oT {iN
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初始结构设置完成,将柱面镜的柱面系数设置为变量,并对出射光束在Y-Z平面与X-Z平面的夹角进行限制,以保证平行出射。 QQ8W;x
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优化宏和镜头结构 }&hgedx
优化好的结构如图所示: ?b$zuJ]
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通过透视图来查看光斑整形效果。 E cz"O
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可以看见,像面成一个圆形。光线并没有铺满像面。 i(kK!7W35
在命令行中输入:DPROP P 0 0 6 GEOM 3 L RESAMPLE,查看光斑形状。 uQ1;+P:L
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再次输入 BEAM 和 XBEAM。 ZEJadR
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在通过 SPEC 查看系统的总长。 a][Z;g
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整体达到了设计要求。