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摘要 A4QcQ" ,2]X}&{i 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 7FF-*2@
x3zj?- n$:IVX"2b ;;)`c/$ 1. 建模任务 dz[
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|/ }\6L] HWm#t./ 2. 结果 |([R'Orm &5t :H 8b ?U7) XvQ gLsU:aeCT cubUq5 _e!F~V.
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