摘要
=EwC6+8*M rKg~H=4x2
MLg+ 9y E uxD,( 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
|pxM8g1w O& k+;r 设计任务
FJJ+*3( I:M]#aFD
a[d6@! ~ /s(.oji 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
hAq7v']m &6
.r=,BO 扫描参数空间以获取初始解
s<,[xkMB OhMnG@@
7(c7- W(U:D?e 初始解#1的参数优化
t@(S=i7}- |35"V3bs
t;X
!+ sbn|D\p 最终设计#1的性能分析
Ca}T)]// kU^*hd]
{ ]Tb fui;F"+1 初始解#2的参数优化
Za,rht 1t7 vP;
pJ)PVo\cV j)?[S 最终设计#1的性能分析
b#\i]2b: Hw[(v[v
j"g[qF/* &ru2&Sz VirtualLab Fusion一瞥
}!-BZIOlO aVTTpMY
S5B12P T^FeahA7; VirtualLab Fusion中的工作流程
,pfHNK-u 7;0$UYDU* 构建
光栅结构
<X]'": ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
%T9'dcM ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media IJX75hE0g 分析光栅
衍射效率
[!Uzw2 ─
Grating Order Analyzer o2p;$W4` 使用参数运算寻找初始解
fePt[U)2 ─
Usage of the Parameter Run Document ?[<C,w~$` 使用参数优化确定最终解
D}4*Il? {|dU|h VirtualLab Fusion技术
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