摘要
z|G9,:9 #8{F9w<Rf ,3v+PIcMM+ -Z4{;I[Q@ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
UH@as sGY_{CZ: 设计任务
%I!:ITa ;E~4)^ NRnRMY- rdJm{< 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
zJa)* N H-rWDN# 扫描参数空间以获取初始解
v]2S`ffP oq-<ob GwsY-jf R cY>k 初始解#1的参数优化
tg4Y i|5 A]`El8_t" ezhDcI_T A6<C-1
N}j 最终设计#1的性能分析
`&M{cfp_ *y`%]Hy< u{&B^s)k. ?[ly`>KpJ 初始解#2的参数优化
Y**|N8e n?#!VN3 (VyNvB 2^~<("+w 最终设计#1的性能分析
:Ud[f`t t{! e"-X U@`k1 P7r'ffA VirtualLab Fusion一瞥
)/4(e?%= Xog/O i 7RU}FE OwzJO VirtualLab Fusion中的工作流程
dNY"]b N\t1T(C| 构建
光栅结构
KH KS$D ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces PZ:u_*Vu` ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media /4=-b_2Y~ 分析光栅
衍射效率
)j6eE+gF ─
Grating Order Analyzer ^s7,_!.Pq 使用参数运算寻找初始解
71FeDpe ─
Usage of the Parameter Run Document
NW$H"}+o 使用参数优化确定最终解
9z
m|Lbj O@8pC+#`Z VirtualLab Fusion技术
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