摘要
?#FAa, 1$xt=*.u|
|d{(&s} T}u' 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
(\WePOy& Ch7eUTqA@ 设计任务
h[XGFz NiyAAw
[FC%_R&& (MxLw:AV 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
J~c]9t (TnYUyFP` 扫描参数空间以获取初始解
"QiUuD= *&5G+d2
sM?DNE^BvW r@ejU'uz 初始解#1的参数优化
P!]DV$o %mI`mpf
.(`u'G= !r[uwJ= 最终设计#1的性能分析
qa%g'sB-b 8eLNKgc
cDAO5^ W?6RUyMC$T 初始解#2的参数优化
/ox}l<ha x&;{4F Nw
Ay56@_d2 ,l@hhaLm? 最终设计#1的性能分析
WcqYpPv ~Q6ufTGhpM
Ex<-<tY qbT].,?!U VirtualLab Fusion一瞥
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4lPZ M)|}Vn;! VirtualLab Fusion中的工作流程
^KlMBKWyB 9D
0ujup 构建
光栅结构
Llg[YBJ7> ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces O #0:6QX ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media /yH:ur 分析光栅
衍射效率
l(<o,Uv[` ─
Grating Order Analyzer .m+KXlP 使用参数运算寻找初始解
ea B-u ─
Usage of the Parameter Run Document ]54V9l: 使用参数优化确定最终解
R%5\1!Fl=G UUA7m$F1 VirtualLab Fusion技术
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