摘要
hyfR9~ 5:UyUB
\<ZLoy_ 8W;2oQN7 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
\m f*ge\ NvQ%J+ 设计任务
Txo@U l7z6i*R
.]P2}w)x? g5y;?fqJ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
e2c1pgs&+ tjj^O%SV< 扫描参数空间以获取初始解
#|Oj]bd(= }p=g*Zo*C;
EWA;L?g|A )Vg2Jix,] 初始解#1的参数优化
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`}gdN}; zI^Da!r. 最终设计#1的性能分析
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\, 8p1$G 7d;pvhnH 初始解#2的参数优化
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i.y=8GxY 'tm$q/& 最终设计#1的性能分析
*"cD.)]#2 j)Y[4 ^k^
*tc{vtuu~^ \3zp)J VirtualLab Fusion一瞥
OP%?dh] C#;@y|Rw
_9@ >;] y\'P3ihK VirtualLab Fusion中的工作流程
G 4qy*. f8'MP9Lv 构建
光栅结构
v$Uhm</|19 ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces O4L#jBa+ ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media Gr: 3{o` 分析光栅
衍射效率
x6;j<m5Mjx ─
Grating Order Analyzer )\ZzTS 使用参数运算寻找初始解
Cqxv"NN ─
Usage of the Parameter Run Document .<#ATFmY 使用参数优化确定最终解
Bu3T/m P=`1 rjPE VirtualLab Fusion技术
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