摘要
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D O#4E<]5 [|E
93g 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
|3QKxS0 x^xlH!Sc 设计任务
%h(J+_"L6 'z>|N{-xG
e@w-4G(; Xu2:yf4No* 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
Y{6y.F*Q# Gdb6 U{ 扫描参数空间以获取初始解
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Wz;7 |UC 'QeCJ5p] 初始解#1的参数优化
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4'Potv@/ .SAOE'Foo 最终设计#1的性能分析
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. =yF 7A<X!a 初始解#2的参数优化
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`O/1aW1 #{-B`FAQ 最终设计#1的性能分析
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Bi:%}8STH #Ie/| VirtualLab Fusion一瞥
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vgKZr "MM)AY*b VirtualLab Fusion中的工作流程
P'l'[Kz{' 0 w Q'~8 构建
光栅结构
76epkiz;= ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces 5 6w6=Is ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media 8~*
|muN.e 分析光栅
衍射效率
C%&A9(jG ─
Grating Order Analyzer r9sq3z|% 使用参数运算寻找初始解
f"9aL= 3 ─
Usage of the Parameter Run Document gV~_m 使用参数优化确定最终解
(`'(`x# u]0{#wu;g VirtualLab Fusion技术
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