摘要
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E_ KjWF;VN*[3 "Wz8f pyHU+B 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
-FOn%7r#Y _sp,,gz 设计任务
x3>ZO.Q $Cgl$A X| !VjUH `}r)0,Z}3 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
t4;eabZK rt rPRR\:" 扫描参数空间以获取初始解
h+gaKh=k+ ]!c59%f= enC/@){~ f 7R/i 初始解#1的参数优化
5VS};&f jo-2D[Q{ !Y8+Z&^2 T}}T`Ce 最终设计#1的性能分析
Vjdu9Ez ._E 6? |2Vhj<6 c>|1%}"? 初始解#2的参数优化
qix$ }(P G?M<B~} ndmsXls 8t;vZ& 最终设计#1的性能分析
elqm/u JRw<v4pZ QGCg~TV; > `1K0?_ VirtualLab Fusion一瞥
=ea'G>;[H {xD\w^ =.`:jZG `K7UWtp VirtualLab Fusion中的工作流程
D_N0j{E Iq0[Kd0.j 构建
光栅结构
}ed{8"bj ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces +C}s"qrb@ ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media e**<et. 分析光栅
衍射效率
/n2qW.qJ> ─
Grating Order Analyzer &gg Om 使用参数运算寻找初始解
*@VS^JB ─
Usage of the Parameter Run Document ynZp|'b?< 使用参数优化确定最终解
&At9@ qyKI.X3n* VirtualLab Fusion技术
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