摘要 :$yOic}y o8E<_rei 复杂
光学光栅结构被广泛用于多种应用,如
光谱仪、近眼显示
系统等。利用傅里叶模态法(FMM,或称RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一种用于任意光栅结构严格分析的简单方法。利用图形用户界面,用户可以设置堆栈的几何形状,从而产生复杂的光栅结构。本案例主要集中于具有二维周期光栅结构的配置。
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;XZN0A2 1. 本案例主要说明:
\J?&XaO= 如何在光栅工具箱中配置二维光栅结构,通过:
q\!"FDOl4 - 基于介质的定义类型
`'r]Oe - 基于表面的定义类型
r:0RvWif 计算前如何改变高级选型并检查定义的结构。
/ M]P&Zb | 注意:在VirtualLab中,具有二维周期性的光栅结构称作3D光栅。因此,层状光栅(一维光栅)被称为2D光栅。
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fAb@}2 c; .y 2. 光栅工具箱初始化 .':17 $c`H 初始化
=w _T{V - 开始→
j;j~R3B 光栅→
OH n~DL2 一般光栅光路图(3D光栅)
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SoT]6/ d9e~><bPJ
0VR,I{<.{ 注意:对于特殊类型的光栅,如柱状光栅,可以直接选择特定的光路图。
t*BCpC} *Y53bZ 3. 光栅结构配置 K|~!oQ 首先,必须先定义基底的厚度与
材料 <$uDN].T4 在VirtualLab中,光栅结构有一个所谓的堆栈进行定义
?_S); 堆栈可以附属在基底的一侧或两侧。
wp~KrUlR 例如,堆栈选择附属在第一表面。
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],R\oMYy|P 基于介质的定义类型 h=YTgJ (例如:柱状光栅)
'{JMWNY 1. 堆栈编辑器
BUh(pS: 在堆栈编辑器中,可以从库中增加和插入界面和介质。
@{<^rLt 为了以特殊材料定义光栅,必须添加两个平面界面作为边界。
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