摘要 %T}{rU~X )09_CC!a 复杂
光学光栅结构被广泛用于多种应用,如
光谱仪、近眼显示
系统等。利用傅里叶模态法(FMM,或称RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一种用于任意光栅结构严格分析的简单方法。利用图形用户界面,用户可以设置堆栈的几何形状,从而产生复杂的光栅结构。本案例主要集中于具有二维周期光栅结构的配置。
Oq*a4_R'YV
4yQ4lU,r 1. 本案例主要说明:
XwX1i!'54 如何在光栅工具箱中配置二维光栅结构,通过:
^nkwT~Bya - 基于介质的定义类型
@F=ZGmq - 基于表面的定义类型
0 v/+%%4} 计算前如何改变高级选型并检查定义的结构。
vIN6W 注意:在VirtualLab中,具有二维周期性的光栅结构称作3D光栅。因此,层状光栅(一维光栅)被称为2D光栅。
6@H&S J-Sf9^G 2. 光栅工具箱初始化 m1\>v?=K 初始化
-|J?- - 开始→
Qyt6+xL 光栅→
RvDqo d 一般光栅光路图(3D光栅)
-W! g>^.
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$T;3*D 90 注意:对于特殊类型的光栅,如柱状光栅,可以直接选择特定的光路图。
1?7QS\`)fB `'0opoQRe 3. 光栅结构配置 @{+*ea7M(` 首先,必须先定义基底的厚度与
材料 Y8\Ms^rz 在VirtualLab中,光栅结构有一个所谓的堆栈进行定义
0AR4/5. 堆栈可以附属在基底的一侧或两侧。
A
javV 例如,堆栈选择附属在第一表面。
G`6U t
(>WV) 基于介质的定义类型 vk{4:^6.TV (例如:柱状光栅)
F
b`V. 1. 堆栈编辑器
pNVao{::5 在堆栈编辑器中,可以从库中增加和插入界面和介质。
HeSnj-mtr} 为了以特殊材料定义光栅,必须添加两个平面界面作为边界。
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