+|X`cmnuU 内容简介 ae@!M Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
;;Z'd@ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
ns\I Y<Yo 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
r7?nHF 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
1HAnOy0 4<E <sD 目录 2.MUQ;OX Preface 1
:X-S&SX0 内容简介 2
iOb7g@= 目录 i
8qw{e`c 1 引言 1
,~1k:>njY~ 2 光学薄膜基础 2
y`7<c5zD 2.1 一般规则 2
7
wEv`5 2.2 正交入射规则 3
P3=#<Q. 2.3 斜入射规则 6
~@-r 2.4 精确计算 7
OQ
w O7Z 2.5 相干性 8
,1Z([R* 2.6 参考文献 10
>!']w{G 3 Essential Macleod的快速预览 10
-+Yark 4 Essential Macleod的特点 32
&s?uMWR 4.1 容量和局限性 33
|%F4`gz8KP 4.2 程序在哪里? 33
$Q'z9ghEg 4.3 数据文件 35
L'aB/5_% 4.4 设计规则 35
ly6zz|c5 4.5 材料数据库和
资料库 37
!V/\_P!I 4.5.1材料损失 38
L1(-xNUo_i 4.5.1材料数据库和导入材料 39
p19@to5l 4.5.2 材料库 41
]a~sJz! 4.5.3导出材料数据 43
n4+q7 4.6 常用单位 43
=GF=_Ac 4.7 插值和外推法 46
);t+~YPS 4.8 材料数据的平滑 50
\>lA2^Ef 4.9 更多光学常数模型 54
wJq$yqos{ 4.10 文档的一般编辑规则 55
.S/zxf~h 4.11 撤销和重做 56
G?XA",AC 4.12 设计文档 57
"gm5DE 4.10.1 公式 58
em0Y' J 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
1%N*GJlwJ 4.10.3 沉积密度 59
?vAhDD5 4.10.4 平行和楔形介质 60
]Z6? m 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
."B{U_P& 4.10.4 性能 61
dc1Zh
W4 4.10.5 保存设计和性能 64
iJ8Z^=> 4.10.6 默认设计 64
=4SXntU!e 4.11 图表 64
~ |A0* 4.11.1 合并曲线图 67
GQ@mQ=i 4.11.2 自适应绘制 68
.lP',hn 4.11.3 动态绘图 68
H2#o
X 4.11.4 3D绘图 69
Gbclu.4 4.12 导入和导出 73
;l @lA)i 4.12.1 剪贴板 73
,3f>-mP
4.12.2 不通过剪贴板导入 76
YCxwIzIR 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
:0 n+RL*5 4.13 背景 77
?0*[
L 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
~:f..|JM 4.15 生成Rugate 84
L2EQ 9i'[ 4.16 参考文献 91
)&>W/56/ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
\$Wpt#V 5.1 Jobs 92
Fih
pp< 5.2 创建一个新Job(工作) 93
U1)Zh-aR 5.3 输入材料 94
3Z*o5@RI 5.4 设计数据文件夹 95
L{8_6s(: 5.5 默认设计 95
sHk>ek]2I 6 细化和合成 97
-40X3 6.1 优化介绍 97
d*gv.mE 6.2 细化 (Refinement) 98
F5/,S 6.3 合成 (Synthesis) 100
a oU" 6.4 目标和评价函数 101
<YU4RZ 6.4.1 目标输入 102
_\tv ${ 6.4.2 目标 103
-/{FGbpR; 6.4.3 特殊的评价函数 104
[
fzYC'A= 6.5 层锁定和连接 104
JVy|SA&R 6.6 细化技术 104
|M5#jVXj 6.6.1 单纯形 105
g:JSy 6.6.1.1 单纯形
参数 106
w 0= 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
^ `Ozw^~ 6.6.2.1 Optimac参数 108
1a{r1([) 6.6.3 模拟退火算法 109
p5or"tK 6.6.3.1
模拟退火参数 109
EXVZ?NG 6.6.4 共轭梯度 111
2y^:T'p 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
b=:u d[h 6.6.5 拟牛顿法 112
OmBz'sp: 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
Z*mbhod 6.6.6 针合成 113
-X$EE$: 6.6.6.1 针合成参数 114
|w{Qwf!2 6.6.7 差分进化 114
S}%z0g< 6.6.8非局部细化 115
h^tCF=S 6.6.8.1非局部细化参数 115
'0q$qN 6.7 我应该使用哪种技术? 116
yFDeYPZP 6.7.1 细化 116
.aY$-Y< 6.7.2 合成 117
KU` *LB: 6.8 参考文献 117
?=&S?p)-< 7 导纳图及其他工具 118
Uz! 3){E 7.1 简介 118
<O'U-.
Gc 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
IV. })8 7.2.1 四分之一
波长规则 119
9_:"`)]3B 7.2.2 导纳图 120
;n(f?RO3X 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
ZuGd{p$ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
<nbklo 7.5 斜入射导纳图 141
,*6K3/kW 7.6 对称周期 141
0 N>K4ho6{ 7.7 参考文献 142
Vl5>o$G|<. 8 典型的镀膜实例 143
\M\7k5$ 8.1 单层抗反射薄膜 145
3jxC}xz) 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
C-c'"FHq 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
MBA?, |9Q# 8.4 W-膜层 148
TxG@#" ^g} 8.5 V-膜层 149
VrZfjpV 8.6 V-膜层高折射基底 150
(Fzy8
s 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
"E2 0Y"[h 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
B0Wf$
s^7t 8.9 四层抗反射薄膜 153
^{MqJ\S7H 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
iG6]Pr|;e 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
<<MpeMi 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
AtCT 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
^w1+b;) 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
f't.?M 8.15十五层宽带抗反射膜 159
o( zez 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
nA,=g'7S 8.17 1/4波长堆栈 162
d|NW&PG 8.18 陷波滤波器 163
Y%"$v0D 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
lUEbxN 8.20 褶皱 165
IVSC7SBiT 8.21 消偏振分光器1 169
T"Y#u 8.22 消偏振分光器2 171
0@"'SKq 8.23 消偏振立体分光器 172
AEyD?^? 8.24 消偏振截止滤光片 173
J2VPOn 8.25 立体偏振分束器1 174
?; W"=I*3 8.26 立方偏振分束器2 177
F7JO/U^oU 8.27 相位延迟器 178
*%;A85V/ 8.28 红外截止器 179
Cb{D[ 8.29 21层长波带通滤波器 180
U U_0@V< 8.30 49层长波带通滤波器 181
xQvI$vP 8.31 55层短波带通滤波器 182
Ljz)%y[s 8.32 47 红外截止器 183
Y0,{fw< 8.33 宽带通滤波器 184
pwfQqPC#_ 8.34 诱导透射滤波器 186
,Lp"Ia 8.35 诱导透射滤波器2 188
2PSExK57 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
)?[7}(4jI 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
R|qrK 8.35 增益平坦滤波器 193
)m7%cyfC 8.38 啁啾反射镜 1 196
Cu#n5SF* 8.39 啁啾反射镜2 198
aF?_V!#cT 8.40 啁啾反射镜3 199
2: gh q 8.41 带保护层的铝膜层 200
wL),/i&< 8.42 增加铝反射率膜 201
.Bl:hk\ 8.43 参考文献 202
0<`qz |_h 9 多层膜 204
j67a?0<C2U 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
!u]@Ru34 9.2 内部透过率 204
- nNKUt.I 9.3 内部透射率数据 205
?fy37m(M} 9.4 实例 206
tjtvO@?1- 9.5 实例2 210
R5=J :o 9.6 圆锥和带宽计算 212
?pEPwc 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
*$0*5d7 10 光学薄膜的颜色 216
s 7 nl 10.1 导言 216
jnp~ACN, 10.2 色彩 216
a%`Yz"<lQ 10.3 主波长和纯度 220
jq)Bj#'7 10.4 色相和纯度 221
y p{Dl 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
4Y59^ 10.6 色差 226
xW) 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
QoxYzln 10.8 颜色渲染指数 234
9~~NxWY%x 10.9 色差计算 235
fu\j 10.10 参考文献 236
7(o`>7x* 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
+C!GV.q[ 11.1 短脉冲 238
xbCR4upS 11.2 群速度 239
e:
Sd#H! 11.3 群速度色散 241
~F-knEvL 11.4 啁啾(chirped) 245
QTa\&v[f 11.5 光学薄膜—相变 245
e+BZoK ^ 11.6 群延迟和延迟色散 246
}F{s\qUt 11.7 色度色散 246
?=Ceo#Er 11.8 色散补偿 249
afX|R 11.9 空间
光线偏移 256
`$jun 11.10 参考文献 258
yrEh5v: 12 公差与误差 260
P,] ./m\J 12.1 蒙特卡罗模型 260
CJN~p]\ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
o
A2oX 12.2.1 误差工具 267
}6a}8EyFP 12.2.2 灵敏度工具 271
k#pO+[ x 12.2.2.1 独立灵敏度 271
o7E|wS 12.2.2.2 灵敏度分布 275
-51LF=(!L 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
LI.WcI3uS 12.3 参考文献 276
Vc5>I_ 13 Runsheet 与Simulator 277
!o`7$`%Wz\ 13.1 原理介绍 277
w3q'n% 13.2 截止滤光片设计 277
I;JV-jDM 14 光学常数提取 289
rVP\F{Q4Tr 14.1 介绍 289
7Q|<6210 14.2 电介质薄膜 289
LGuZp?" 14.3 n 和k 的提取工具 295
,(q]
$eOZ 14.4 基底的参数提取 302
|
U0s1f 14.5 金属的参数提取 306
Szt2 "AR 14.6 不正确的模型 306
rtAPkXJFM 14.7 参考文献 311
2Pm}wD^` 15 反演工程 313
`oNJ=,p 15.1 随机性和
系统性 313
vW eg1 15.2 常见的系统性问题 314
b%MZfaU 15.3 单层膜 314
dz+!yE\f$ 15.4 多层膜 314
?`e@ o? 15.5 含义 319
'A5T$JV.r4 15.6 反演工程实例 319
4F.,Y3 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
A'`F Rx( 15.6.2 反演工程提取折射率 327
LQ k^l` 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
jC[_uG 16.1 光学性质的热致偏移 329
BNJ0D 16.2 应力工具 335
{E%c%zzQ 16.3 均匀性误差 339
&o x 16.3.1 圆锥工具 339
|*JMPg?zI 16.3.2 波前问题 341
!`N:.+DT 16.4 参考文献 343
'dBe,@ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
kiJ=C2'& 17.1 引言 345
S||W 17.2 操作数 345
vrb@::sy0T 18 如何在Function中编写脚本 351
rzHBop-8 18.1 简介 351
h(yFr/ 18.2 什么是脚本? 351
V~*>/2+ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
Tk[]l7R~ 18.4 基础 352
pW.WJ`Rk 18.4.1 Classes(类别) 352
VK*_pEV,} 18.4.2 对象 352
#z >I =gl 18.4.3 信息(Messages) 352
DgcS@N 18.4.4 属性 352
$\*Z 18.4.5 方法 353
M`K]g&57hL 18.4.6 变量声明 353
-V;Y4,:c 18.5 创建对象 354
.9e5@@VR 18.5.1 创建对象函数 355
eik_w(xPT 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
,gZp/ yJ; 18.5.3 丢弃对象 356
wipl5O@L 18.5.4 总结 356
!%M,x~H 18.6 脚本中的表格 357
u-&V