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光学干涉装置广泛用于精密的表面或波前测试和细节分析,特别是菲索干涉仪作为工业上应用最广泛的表面轮廓检测技术之一,正占据着重要的地位。我们在VirtualLab Fusion中构建了一个基于斐索干涉仪的测试光学系统,使用几种类型的表面作为测试对象,并观察不同的干涉条纹。此外,还介绍了用于镜头测试的马赫-曾德尔干涉仪。 !v/j*'L<M} @B.;V=8wJ 用于光学测试的菲索干涉仪 ';H"Ye:D=7 ^Rel-=Z$B 利用非序列场追迹技术建立了菲索干涉仪,给出了不同测试表面的干涉条纹。 l ~bjNhk Kmk}Yz 马赫-曾德尔干涉仪 l7{]jKJue |6qxRWT" 我们在VirtualLab Fusion中构建了马赫-曾德尔干涉仪,并演示了元件的倾斜和偏移对干涉条纹的影响。 5,Q3#f~! *.'9 eC0s
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