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摘 要 a {x3FQ Hn(Eut7% 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 y'b*Dk{ \K"7U 建模任务 Vh;|qF 9 b{aB^a:f=L
31 <0Nw;l J,?F+Qji&= 倾斜平面下的观测条纹 WK?5`|1l:x
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2<!IYEyT K/Pw;{} 圆柱面下的观测条纹 F7j/Zuj -
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k18v{)i~ A15Kj#Oy 球面下的观测条纹 :
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