最简单的减反射膜
结构是单层减反射膜,其主要是针对特定
波长的减反射,主要
原理是光波的
干涉相消/相长。对于单层减反射膜来说,理想厚度为1/4入射光波长。在本例中,假设了一个
折射率为1.5的基板,并且空气折射率为1
6#.R'O wi&m(f(~ 1. 建模任务 pa.W-qyu 1.1基本结构
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5F.q NE/3aU 2. 建模过程 lte~26=e 2.1创建
材料(TechWiz DB)
ArF+9upGY
haY.rH]z 643 O(0a 2.2创建堆栈结构(TechWiz
LCD 1D)
{6~W2zX& u|Db%)[ c|I{U[(U 3.查看结果 1W;+hXx 3.1反射率最小对应厚度为0.1127um,与理论计算结果相符
^^v\ T af> i 3.2可以将膜厚与膜层折射率同时作为变量考虑,可见厚度0.1127um,折射率N=1.22时,其反射率最低
yy%J{; (0Y6tcV]R 3.3可以查看详细的原始数据,确定反射率的具体数值
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