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<zfe}0 内容简介 -<f/\U Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 F%.xuL W 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 54p tP 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 uK*|2U6t /9ZcM]X B 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 X33v:9= 目录 MOz}Q1`a Preface 1 GKtS6$1d# 内容简介 2 `"y`AY/N 目录 i Fxd{ Zk` 1 引言 1 2=*=^)FNI 2 光学薄膜基础 2 Bt~s*{3$8 2.1 一般规则 2 pu;3nUH 2.2 正交入射规则 3 _g|acBF 2.3 斜入射规则 6 L ^Y3=1#"g 2.4 精确计算 7 y%(X+E"n* 2.5 相干性 8 'w<BJTQIL 2.6 参考文献 10 ?T*";_o,B 3 Essential Macleod的快速预览 10 >Wi s.e%b 4 Essential Macleod的特点 32 2hOPzv&B 4.1 容量和局限性 33 f@z*3I; 4.2 程序在哪里? 33 crmUrF# 4.3 数据文件 35 aO1IVESr$ 4.4 设计规则 35 BA+_C]%ZJ 4.5 材料数据库和资料库 37 # mT]j"" 4.5.1材料损失 38 Dx+K+( 4.5.1材料数据库和导入材料 39 3;/?q 4.5.2 材料库 41 UVX"fZ) 4.5.3导出材料数据 43 +uQB
rG 4.6 常用单位 43 6 DP[g8 4.7 插值和外推法 46 c?6d2jH. 4.8 材料数据的平滑 50 ?b$3ob" 4.9 更多光学常数模型 54 }=GM?,7b 4.10 文档的一般编辑规则 55 'F_}xMU 4.11 撤销和重做 56 w=J4zkWk 4.12 设计文档 57 2w1tK 4.10.1 公式 58 gbGTG(:1S 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 vjK, I9 4.10.3 沉积密度 59 Vewzo1G2 4.10.4 平行和楔形介质 60 =MSu3<y, 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Z;<ep@gy~ 4.10.4 性能 61 moO_-@i 4.10.5 保存设计和性能 64 jxY-u+B 4.10.6 默认设计 64 Fj=NiZ= 4.11 图表 64 gue(C(~.k_ 4.11.1 合并曲线图 67 EF;,Gjh5p 4.11.2 自适应绘制 68 J+2R&3;_O 4.11.3 动态绘图 68 `SOhG?Zo 4.11.4 3D绘图 69 ^
}#f() 4.12 导入和导出 73 hx!`F 4.12.1 剪贴板 73 \iZ1W 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 a!t
V6H 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 &5q{viI 4.13 背景 77 3%IWGmye4 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 <-)9>c:k 4.15 生成Rugate 84 Ak=UtDN[ 4.16 参考文献 91 Z{}+)Q*Q 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 8XbR 5.1 Jobs 92 yX9B97XyC 5.2 创建一个新Job(工作) 93 yiT{+;g^ 5.3 输入材料 94 {wu!6\:<?? 5.4 设计数据文件夹 95 wItz cY1m 5.5 默认设计 95 hEOJb
@:R 6 细化和合成 97 k,]{NO
6.1 优化介绍 97 .
bG{T| 6.2 细化 (Refinement) 98 NgxO&Zp 6.3 合成 (Synthesis) 100 M[,^KJ! 6.4 目标和评价函数 101 V_]-`?S 6.4.1 目标输入 102 {HuLuP0t 6.4.2 目标 103 hEcYpng~ 6.4.3 特殊的评价函数 104 Ihef$, 6.5 层锁定和连接 104 E& ]_U$ 6.6 细化技术 104 6D^%'[4t 6.6.1 单纯形 105 -A@U0=o 6.6.1.1 单纯形参数 106 I"V3+2e 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 )dg UmN 6.6.2.1 Optimac参数 108 )/TVJAJ 6.6.3 模拟退火算法 109 }85#[~m' 6.6.3.1 模拟退火参数 109 &ps6s.K 6.6.4 共轭梯度 111 oZvG3_H4. 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 YPQCOG 6.6.5 拟牛顿法 112 M=Is9)y 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 \[E-: 6.6.6 针合成 113 o}R|tOe 6.6.6.1 针合成参数 114 Kz^ hQd 6.6.7 差分进化 114 ^z?=?%{ 6.6.8非局部细化 115 !L$oAqW 6.6.8.1非局部细化参数 115 9jjL9f_3 6.7 我应该使用哪种技术? 116 0C7" 3l 6.7.1 细化 116 -AeHY'T 6.7.2 合成 117 "b;k.Fx 6.8 参考文献 117 "2K|#,%N 7 导纳图及其他工具 118 `R ]&F$i(E 7.1 简介 118 Z{16S=0 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 %>]#vQ| 7.2.1 四分之一波长规则 119 <on)"{W13 7.2.2 导纳图 120 Ko}7$2^ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ?(M\:`G' 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 >,w P!;dh 7.5 斜入射导纳图 141 ~l4Q~' 7.6 对称周期 141 L%4tw5*N 7.7 参考文献 142 ceI
[hM 8 典型的镀膜实例 143 y7
<(,uT 8.1 单层抗反射薄膜 145 w5=EtKTi 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Ae3#>[]{ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 p!V)55J* 8.4 W-膜层 148 m&{rBz0 8.5 V-膜层 149 33S`aJ 8.6 V-膜层高折射基底 150 s-o~@(r6 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 XAGiu;<,= 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 dR?5$V( 8.9 四层抗反射薄膜 153 N}1-2 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 "N]WL5$i 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 !-@SS> 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 5vl2yN 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 F.&*D~f 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 PK9Qm'W b 8.15十五层宽带抗反射膜 159 4v i B=> 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 p@`4 Qz 8.17 1/4波长堆栈 162 [kQ"6wh8 8.18 陷波滤波器 163 y& Gw.N}<r 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Zj5NWzj
X 8.20 褶皱 165 >EyvdX#v 8.21 消偏振分光器1 169 @#J H=-06 8.22 消偏振分光器2 171 R7y-#? 8.23 消偏振立体分光器 172 e1Dj0s?i~K 8.24 消偏振截止滤光片 173 + >Fv*lux 8.25 立体偏振分束器1 174 m}sh I8S 8.26 立方偏振分束器2 177 g!z8oPT 8.27 相位延迟器 178 mRNHq3 8.28 红外截止器 179 -1dIZy 8.29 21层长波带通滤波器 180 :1%VZvWk* 8.30 49层长波带通滤波器 181 UeC 81*XZ 8.31 55层短波带通滤波器 182 6YB-}>? 8.32 47 红外截止器 183 8VKb* 8.33 宽带通滤波器 184 VN1#8{ 8.34 诱导透射滤波器 186 "1E?3PFJ
8.35 诱导透射滤波器2 188 vjY);aQ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 PP~CZ2Fze 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 .kz(V5 8.35 增益平坦滤波器 193 h6K!|-Gq. 8.38 啁啾反射镜 1 196 Hd96[Uo 8.39 啁啾反射镜2 198 $=X!nQ& Z| 8.40 啁啾反射镜3 199 dICnB:SSB 8.41 带保护层的铝膜层 200 QLxXp 8.42 增加铝反射率膜 201 Ul7,k\q@ 8.43 参考文献 202 B>c[Zg1 9 多层膜 204 99=[>Ck)G 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 K7YT0cG 9.2 内部透过率 204 aA!@;rR<yU 9.3 内部透射率数据 205 eU<]h>2 9.4 实例 206 mJU>f-l 9.5 实例2 210 f4qS OVv
9.6 圆锥和带宽计算 212 UzP@{? 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ci#Zvhtkr 10 光学薄膜的颜色 216 K]lb8q}Z~ 10.1 导言 216 G=+!d&mbg 10.2 色彩 216 >c~9wv 10.3 主波长和纯度 220 Ta!m%=8 10.4 色相和纯度 221 W`
6"!V 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 PkZf(=-X
10.6 色差 226 exGhkt~ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 qhv4R| ) 10.8 颜色渲染指数 234 S S7D1 10.9 色差计算 235 j X^&4f 10.10 参考文献 236 bUEt0wRR 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 |^>L`6uo 11.1 短脉冲 238 woC
FN1W 11.2 群速度 239 J?UZN^ 11.3 群速度色散 241 +"*l2E]5 11.4 啁啾(chirped) 245 wt3Z?Pb 11.5 光学薄膜—相变 245 ?ZD{e|:u 11.6 群延迟和延迟色散 246 98<bF{#0WM 11.7 色度色散 246 6=aBD_2@ 11.8 色散补偿 249 M,=@|U/B 11.9 空间光线偏移 256 2xz%'X% 11.10 参考文献 258 3/#R9J# 12 公差与误差 260 c+YYM
:S 12.1 蒙特卡罗模型 260 &9GR2GY 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 DT1i2! 12.2.1 误差工具 267
B[2h 12.2.2 灵敏度工具 271 Eusf gU: 12.2.2.1 独立灵敏度 271 uH~ TugQ~ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ~Iu21Q(* 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 D{3 x}5 12.3 参考文献 276 %<bG%V( 13 Runsheet 与Simulator 277 8/kx 3 13.1 原理介绍 277 8kn]_6:3i 13.2 截止滤光片设计 277 s|rZ>SLL 14 光学常数提取 289 : Oz7R: 14.1 介绍 289 C$]%1<-Iv] 14.2 电介质薄膜 289 VAG+y/q 14.3 n 和k 的提取工具 295 HnYFE@Nl:U 14.4 基底的参数提取 302 &d &oP
14.5 金属的参数提取 306 ]CtoK%k 14.6 不正确的模型 306 6#lC(ko' 14.7 参考文献 311 i32_ZB Z?y 15 反演工程 313 J7 zVi 15.1 随机性和系统性 313 8 MACbLY 15.2 常见的系统性问题 314 %RK\Hz2q3 15.3 单层膜 314 GhfUCW% 15.4 多层膜 314 ~*Sbn~U 15.5 含义 319 ytcG6WN3 15.6 反演工程实例 319 9^[5!SMzCj 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 X?k V1 15.6.2 反演工程提取折射率 327 s5Bmv\e.i5 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Z2pN<S{5 16.1 光学性质的热致偏移 329 JQVw6*u{ 16.2 应力工具 335 \Z7([G h 16.3 均匀性误差 339 u^4 "96aXJ 16.3.1 圆锥工具 339 Y|qixpP 16.3.2 波前问题 341 M
b /X@51 16.4 参考文献 343 h1UlLy8 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 c#4L*$ViF 17.1 引言 345 &l!{!f4 17.2 操作数 345 CFS3);'<| 18 如何在Function中编写脚本 351 R4rm>zisVX 18.1 简介 351 >7v.`m6?H 18.2 什么是脚本? 351 Hr8$1I$= 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 p9] 7g% 18.4 基础 352 nluyEK 18.4.1 Classes(类别) 352 ^xkppN2 18.4.2 对象 352 lVp~oZC6[ 18.4.3 信息(Messages) 352 {-7yZ]OO$ 18.4.4 属性 352 y:6'&`L 18.4.5 方法 353
qzbkxQu]g 18.4.6 变量声明 353 A%czhF 18.5 创建对象 354 ]38<ly7 18.5.1 创建对象函数 355 :`"T Eif 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 n4_:#L? 18.5.3 丢弃对象 356 +K?N:w 18.5.4 总结 356 =rO>b{,hs 18.6 脚本中的表格 357 _I}L$ 18.6.1 方法1 357 V]PhXVJ 18.6.2 方法2 357 22|M{ 18.7 2D Plots in Scripts 358 O[(HE8E 18.8 3D Plots in Scripts 359 uW--
nXMs 18.9 注释 360 E<G@LT 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 JLV}Fw 18.11 一个更高级的脚本 362 MHT,rqG 18.12 <esc>键 364 2Q'XB 18.13 包含文件 365 V<7K!<g)b 18.14 脚本被优化调用 366 Y1ilH-8 18.15 脚本中的对话框 368 ~m09yc d< 18.15.1 介绍 368 HtXBaIl\ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 5Z1Do^ 18.15.3 输入框函数 370 t~W4o8<w 18.15.4 自定义对话框 371 w wRT$-! 18.15.5 对话框编辑器 371 ;gu>;_ 18.15.6 控制对话框 377 }GNH)-AG)$ 18.15.7 更高级的对话框 380 jl0Eg 18.16 Types语句 384 WyJfF=< 18.17 打开文件 385 {Ljl4Sp& 18.18 Bags 387 l|tp0[ 18.13 进一步研究 388 ~aR='\< |