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[求助]第一层速率问题 [复制链接]

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离线renlgj

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 08-26

关键词：镀膜速率

各位老师好，我家的镀膜机镀第一层时速度时-10多开始的，请问是什么原因？

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离线ouyuu

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只看该作者 1楼发表于: 08-28

一般是温度造成的，如果有离子源，离子源挡板先开30秒；如果只是电子枪，那么开挡板后3S清零一次会比较好。

离线renlgj

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只看该作者 2楼发表于: 09-15

谢谢1楼，

离线morningtech

助理工程师

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只看该作者 3楼发表于: 09-19

回 ouyuu 的帖子

ouyuu:一般是温度造成的，如果有离子源，离子源挡板先开30秒；如果只是电子枪，那么开挡板后3S清零一次会比较好。 (2024-08-28 22:26) )dMXn2O

膜林晶控仪内部有开挡板后，15秒（时间可设，在材料参数最后1页，如果是计算机控制，则参考材料1）内出现的负厚度自动丢弃功能，无需外部清零。
《探头与接口》界面可以看到，最近一次自动丢弃的负厚度累计值，很有意思的。
其实几乎每一层开始前都会有这一现象的。而不仅仅是第一层。

离线yang6563017

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只看该作者 4楼发表于: 09-22

晶控的机台基本上都有这种问题，如果有离子源就设定离子源档板与电子枪档板两个打开时间不同时就可以有效改善，但没办法彻底根除。