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    [技术]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-08-22
    摘要 AT Dm$ *  
    =.NZ {G  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 ~_<I}!j/B  
    l}odW  
    v0hr~1  
    概述 <q|IP_  
    ]4~- z3=y  
    x}Qet4vV  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 2ED^uc: 0S  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 =5=D)x~  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数  o"J>MAD  
    Xb +)@Y4h  
    *: )hoHp&  
    f[v~U<\R  
    衍射级次的效率和偏振
    (}E-+:vFU  
    \|^fG9M~  
    7 +A-S9P)  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 Zkl:^!*  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 `.>5H\w0e  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 3l5rUjRwj  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 l*]9   
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 E><!Owxt/  
    3&i8C,u]/O  
    Jg#L8>p1  
    光栅结构参数 d.y2`wT  
    k#"Pv"  
    Q|eRek  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 q)JG_Y.p  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 2}`Q9?  
    •因此,选择以下光栅参数: V lb L p;  
    - 光栅周期:250 nm o %#Z  
    - 填充系数:0.5  /;LteBoY  
    - 光栅高度:200 nm XP'Mv_!Z  
    - 材料n1:熔融石英 N,v4SIC@  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) z{T2! w~[  
    N{Og; roGD  
    SPKen}g  
     |F5^mpU  
    偏振状态分析 =w &%29BYq  
    mY"DYYR>  
    pAg;Rib  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。  v|+}>g  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 YbZ<=ZzO4  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 7Cf%v`B4D  
     (2vR8  
    Ycb<'M*jE  
    n =v4m_e  
    产生的极化状态 w7\:S>;(O"  
    v8g3]MVj3  
    u:H@]z(x  
    js )G   
    Bu?"b=B*  
    其他例子 Yjz'lWg  
    $eQ_!7Gom$  
    ?QO)b9  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 2D-ogSIo  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 U,/NygB~  
    Db({k,P'Y  
    L;.6j*E*  
    =0xuH>WY}w  
    光栅结构参数 J)(H-xvV  
    ko!38BH`/  
    S |T:rc(~  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 Q(m} Sr4  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 tF)K$!GR[  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 G\h8j*o  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 "hz(A.THi  
    l/OG 79qq  
    v}dt**l  
    光栅#1 ~Av]LW  
    +Cx~4zEq  
    g=; rM8W  
    mm%w0dOb"  
    b0LjNO@<  
    •仅考虑此光栅。 <Xw 6m$fr:  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 *sf9(%j  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 lj%8(Xu  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 R@>R@V>c  
    Faa:h#  
    T,(IdVlJ  
    假设光栅参数: Kbx(^f12  
    •光栅周期:250 nm Wf_aEW&n  
    •光栅高度:660 nm YU76(S9 0#  
    •填充系数:0.75(底部) xTD6?X'4  
    •侧壁角度:±6° YkPz ~;  
    •n1:1.46 S$%/9^\jF  
    •n2:2.08 u]E%R&  
    G%ycAm  
    光栅#1结果 0]8+rWp|Nz  
    `]]gD EPG{  
    P,h@F+OZN  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 3]'=s>UO>^  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 |NtT-T)7  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    2bX!-h  
    mUr@w*kq|p  
    eHv~?b5l  
    bXq,iX  
    光栅#2 9YHSL[  
    EN.yU!N.4  
    X_s;j5ur  
    F)e*w:D  
    sLbz@54  
    •同样,只考虑此光栅。 ABhza|  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 F&lc8  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 y(.WK8  
    假设光栅参数: %n}fkj'  
    •光栅周期:250 nm z('93vsO  
    •光栅高度:490 nm &%u,b~cL?  
    •填充因子:0.5 c}Z,xop<P{  
    •n1:1.46 1I3u~J3]/  
    •n2:2.08
    yF0,}  
    JPQ02&e  
    光栅#2结果  4EB$e?  
    w0/W=!_  
    ]CC~Eo-%-  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 6El%T]^  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 w#PaN83+  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 vW$] :).  
    R~RY:[5?w  
    Rz=]KeZu  
     
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