-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-01-12
- 在线时间1913小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 x *0mmlCb `&>CK`%Xu 高数值孔径物镜广泛用于光学光刻、显微镜等。因此，在聚焦模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种镜头的光线和光场追迹分析。 通过光场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。 照相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，并且可以深入了解矢量效应。 ]M/*Beh
8M7pc{
 J]qx4c
U$T
(R2@ 建模任务 D]WU,a[$Bc
x).`nZ1
 o Np4> 7Lk Fn*)!,) 入射平面波 znu [i&\= 波长 2.08 nm `zMR?F` 光斑直径： 3mm #(d /A< 沿x方向线偏振 T.iVY5^< I)}T4OOc/ 如何进行整个系统的光线追迹分析？ M;1B}x@ 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布？ Ar1X
mHq ,v>| Ub, 概览 `&qeSEs\ •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。 h} <Ie < •接下来，我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。 5=9gH
7wwlZ;w  #;Z+ X) 光线追迹模拟 t7b\ #o •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为模拟引擎。 C}cYG •点击Go！ jGKas I` •获得3D光线追迹结果。 ]6TX ) 1
h,)UB1
 XyE%< ] A_<1 }8{L 光线追迹模拟 =%$BFg1a( •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为模拟引擎。 \z)` pno •单击Go！ 7 ="I; •结果，获得点图（2D光线追迹结果）。 3hbU us %<Kw  AcxC$uh
Z<n%~z^ 光场追迹模拟 + hKH\] •切换到“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为模拟引擎。 8cv [|`< •单击Go！ rH5'+x K
h@"u ==0  SoJ'y 6
LwS>jNJx 光场追迹结果（照相机探测器） {1]/ok2k5 jq"iLgEMO •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。 9Z;"9$+M •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度：由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 u!K5jqP >KMTxHE`+  O^yD b e x`mu E 光场追迹结果（电磁场探测器） TWAt)Q"J GK-__Y. •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。 g$$j:U*- !xo; $4  r2; )VS VN!+r7w'
 u+/1r yp
H@!kgaNF
 E A} Vb(2
@2Ca]2,4
 NY!"?Zko
|
