1.摘要
ftxTX3X (X*'y*: 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
UmYD] xC'mPcU8 k]t,q$Vd 8~;{xYN ) 2. 建模任务
uW )
\, Ywmyr[Uh' YXgWH'i~ J9NsHr:A[ 3. 干涉条纹的变化
J`4Z<b53 DQ%`v= ix:2Z- '^8g9E.4K 4. 走进VirtualLab Fusion
c$.UE E2h(w_l [TP [+y&HNf 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
,|6Y\L "pOqd8>] P`7ojXy uFz/PDOZ@ 6. VirtualLab Fusion 技术
0K&_D) 6euR'd^Qi