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摘要 N/bOl~!y L~Gr,i
C9!t&<\} m&:&z7^p 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 R}ki%i5| *M1GVhW(+ 建模任务 2'DCB{Jv fQJ`&9m*BF
\8 `7E1d apo)cR 由于组件倾斜引起的干涉条纹 jk9f{Iu 2.D2
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~U0%}Bbh EtKq.<SJ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 _MBhwNBxZ eV[{c %wN:
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